[发明专利]处理液供给装置

权利要求书

1.一种处理液供给装置，供给用于处理基板的处理液，所述装置包括：

通液部，供处理液流通；以及

泵，具有通过容积的变化与所述通液部之间进行处理液的送出或接受的腔室和被电驱动来改变所述腔室的容积的腔室驱动部，

所述通液部、所述腔室和所述腔室驱动部按照所述通液部、所述腔室、所述腔室驱动部的顺序沿着横向配置，

具备两台所述泵作为第一泵和第二泵，

所述第一泵配置于处理液的液流的上游侧，所述第二泵配置于处理液的液流的下游侧，并且所述第二泵配置于所述第一泵的上部，

所述通液部还具备过滤器，

通过所述通液部，从所述第一泵经由所述过滤器连通连接至所述第二泵，

将所述过滤器和所述第二泵连通连接的所述通液部配置为，使处理液从所述过滤器向下流通到低于所述第二泵的位置，并且，使处理液向上流通至所述第二泵的腔室，将所述过滤器和所述第二泵连通连接的所述通液部中的、使处理液向上流通的部分具备被以非电的方式驱动且允许或切断处理液的流通的非电动作开关阀。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述通液部、所述腔室和所述腔室驱动部配置为直线状。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，

所述泵在所述腔室与所述腔室驱动部之间具备抑制所述腔室驱动部的热向所述腔室侧传递的空气层。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其中，

所述泵的所述腔室具有隔膜。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其中，

所述通液部具有被以非电的方式驱动且允许或切断处理液的流通的非电动作开关阀，

所述非电动作开关阀的开闭由被电驱动的电驱动阀操作，

所述电驱动阀相对于所述腔室配置于所述腔室驱动部侧。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其中，

具备用于控制所述腔室驱动部的控制基板，

所述控制基板相对于所述腔室配置于所述腔室驱动部侧。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述通液部还具备过滤器，

在俯视观察时，所述过滤器隔着所述腔室配置于与所述腔室驱动部一侧相反的一侧。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述第一泵和所述第二泵彼此的腔室驱动部配置在俯视观察时重叠的相同位置。