[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体有效
申请号: | 201810861640.X | 申请日: | 2014-03-11 |
公开(公告)号: | CN109067379B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 山田明法 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/215 | 分类号: | H03H9/215 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 元件 振荡器 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种振动元件,其特征在于,该振动元件包含:
基部;以及
一对振动臂,它们在俯视时从所述基部起沿着第1方向延伸,沿着与所述第1方向交叉的第2方向排列,
所述振动臂包含:
臂部;以及
宽幅部,其在俯视时配置于所述臂部的与所述基部相反的一侧,沿着所述第2方向的长度比所述臂部长,
在设所述振动臂的沿着所述第1方向的长度为L、所述宽幅部的沿着所述第1方向的长度为H时,
满足1.2%<H/L<30.0%、且L≤1mm的关系,
在设所述臂部的沿着所述第2方向的长度为W1、所述宽幅部的沿着所述第2方向的长度为W2时,
满足1.5≤W2/W1≤10.0、且12.8μm≤W1≤50μm的关系。
2.根据权利要求1所述的振动元件,其中,
所述L和所述H满足4.6%<H/L<22.3%的关系。
3.根据权利要求1或2所述的振动元件,其中,
所述W1和所述W2满足1.6≤W2/W1≤7.0的关系。
4.根据权利要求1或2所述的振动元件,其中,
在所述臂部的主面上设置有沿着所述第1方向延伸的有底的槽部。
5.根据权利要求1或2所述的振动元件,其中,
所述宽幅部包含:
主体部,其与所述臂部的和所述基部相反的一侧连接;以及
一对突出部,它们配置成在所述第2方向上,在该一对突出部之间隔着所述臂部,该一对突出部从所述主体部朝向所述基部侧突出,
所述一对突出部配置成与所述臂部分离。
6.根据权利要求5所述的振动元件,其中,
在设与所述第1方向以及所述第2方向这两个方向垂直的方向为第3方向时,
所述宽幅部包含连结部,该连结部连结所述突出部和所述臂部,该连结部的沿着所述第3方向的长度比所述臂部和所述突出部的沿着所述第3方向的长度短。
7.根据权利要求1或2所述的振动元件,其中,
所述基部在所述振动臂延伸的一侧的相反侧包含宽度缩小部,该宽度缩小部的所述第2方向的长度随着从所述振动臂远离而逐渐减小。
8.根据权利要求1或2所述的振动元件,其中,
所述振动元件包含支承部,该支承部配置于所述一对振动臂之间,从所述基部起沿着所述第1方向延伸。
9.根据权利要求1或2所述的振动元件,其中,
所述振动元件包含一对支承臂,该一对支承臂与所述基部连接,在所述第2方向上,在该一对支承臂之间隔着所述一对振动臂,所述一对支承臂沿着所述第1方向延伸。
10.一种振子,其特征在于,该振子包含:
权利要求1~9中的任意一项所述的振动元件;以及
搭载有所述振动元件的封装。
11.一种振荡器,其特征在于,该振荡器具有:
权利要求1~9中的任意一项的振动元件;以及
与所述振动元件电连接的振荡电路。
12.一种电子设备,其特征在于,该电子设备具有权利要求1~9中的任意一项所述的振动元件。
13.一种移动体,其特征在于,该移动体具有权利要求1~9中的任意一项所述的振动元件。
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