[发明专利]基于光纤法布里玻罗腔的应变传感器及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201810861650.3 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN108692751A 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 周坤;崔金明;黄运锋;李传峰 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: G01D5/353 分类号: G01D5/353;G01B11/16;G01B9/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张宇园
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 应变传感器 法布里 光纤法 传感器 光纤 光纤传感器技术 光纤应变传感器 端面对接 空气间隙 微腔结构 应变测量 灵敏度 敏感度 制作
【权利要求书】:

1.一种基于光纤法布里玻罗腔的应变传感器,其特征在于,包括第一端面的第一光纤以及包括第二端面的第二光纤,所述第一端面和第二端面对接后构成法布里玻罗腔,在法布里玻罗腔的内部有空气间隙。

2.根据权利要求1所述传感器,其特征在于,所述第一光纤的第一端面内形成一个环形凹槽,第一端面中间为一个圆柱。

3.根据权利要求2所述传感器,其特征在于,所述环形凹槽的外侧直径小于第一光纤的包层直径,所述圆柱直径大于光纤的纤芯直径大小。

4.根据权利要求2所述传感器,其特征在于,所述圆柱的位置在第一光纤的中心位置,所述圆柱的直径大于第一光纤的纤芯直径,圆柱的高度低于环形凹槽底部至凹槽顶部距离。

5.根据权利要求1所述传感器,其特征在于,所述第一光纤的第一端面和第二光纤的第二端面均经过处理后形成所述法布里玻罗腔体,或者仅所述第一光纤的第一端面经过处理后与所述第二光纤的第二端面对接后形成法布里玻罗腔。

6.根据权利要求1所述传感器,其特征在于,所述第一光纤和第二光纤分别为:单模光纤,多模光纤,或光子晶体光纤。

7.根据权利要求1所述传感器,其特征在于,所述第一光纤和第二光纤的对接方式为:电弧放电熔接,二氧化碳激光熔接,或胶水粘接。

8.一种基于光纤法布里玻罗腔的应变传感器的制作方法,其特征在于包括:

用激光从第一光纤的第一端面向内加工一个环带的凹型槽,并且在第一光纤的中间形成一个圆柱,再用激光加工圆柱,使圆柱高度低于环形凹槽底部至环形凹槽顶部的长度;或者先在第一光纤的中心加工一个圆形凹槽,然后再在圆形凹槽外加工一个环带的凹型槽;

将第一光纤的第一端面和第二光纤的第二端面进行对接,对接的方式为电弧放电熔接,二氧化碳激光熔接,或胶水粘接。

9.一种传感器装置,其特征在于包括:

光源,用于产生光线;

环形器,用于通过所述光线;

权利要求1-7任一所述的应变传感器,用于接收从环形器输出的光线后,经过法布里玻罗腔后再反射至环形器;

环形器还用于接收由应变传感器反射回的反射光谱;

光谱仪,接收所述反射光谱并进行分析。

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