[发明专利]Michelson白光干涉光纤液压传感器及测量系统

权利要求书

1.Michelson白光干涉光纤液压传感器，其特征在于：包括容腔(16)以及底座密封腔(21)；

所述容腔(16)设置在底座密封腔(21)上方；所述容腔(16)上方的开口设置有弹性隔水膜(14)；所述底座密封腔(21)的腔内两侧均设置有光杆滑轨(19)；所述光杆滑轨(19)上设置有滑块(18)；所述底座密封腔(21)的腔内两侧的滑块(18)之间设置有固定连接梁(20)；

所述容腔(16)底部设置有弹性金属波纹管(17)；所述容腔(16)和弹性金属波纹管(17)内部均充满硅油(15)；所述弹性金属波纹管(17)的下端与固定连接梁(20)连接；

所述固定连接梁(20)下方设置有反射镜固定装置(22)；所述底座密封腔(21)的底部设置有光纤自聚焦固定装置(23)；所述光纤自聚焦固定装置(23)位于反射镜固定装置(22)的正下方；所述底座密封腔(21)上设置有光纤连接导管(24)；所述光纤连接导管(24)内设置有与光纤自聚焦固定装置(23)的光纤跳线。

2.如权利要求1所述的Michelson白光干涉光纤液压传感器，其特征在于：所述反射镜固定装置(22)包括螺柱(221)、调角螺丝(222)、橡胶圈(223)、平面反射镜(224)以及上安装板(225)和下安装板；

所述螺柱(221)设置在上安装板的顶部；所述橡胶圈(113)设置在上安装板和下安装板之间；

所述上安装板(225)上设置有横向槽(226)；所述上安装板(225)上设置有两颗调角螺丝(222)，两个调角螺丝(222)分别位于螺柱(221)的两侧；其中一颗调角螺丝(222)由上安装板(225)插入延伸到下安装板内，且与下安装板螺纹配合；另一颗调角螺丝(222)的一端通过横向槽(226)插入到安装板内，且与下安装板螺纹配合；所述平面反射镜(224)安装在下安装板的下底面。

3.如权利要求1所述的Michelson白光干涉光纤液压传感器，其特征在于：所述的光纤自聚焦透镜固定装置(23)包括光纤自聚焦透镜(231)、第二调角螺丝(233)、橡胶圈(234)、固定座(235)；所述固定座(235)上设置有聚焦透镜安装座，所述橡胶圈(234)位于固定座(235)与聚焦透镜安装座之间，所述光纤自聚焦透镜(231)安装在聚焦透镜安装座上端，所述聚焦透镜安装座具有法兰；所述第二调角螺丝(233)设置在法兰上，且至少具有三颗；所述第二调角螺丝(233)的一端依次穿过法兰、橡胶圈(234)插入到固定座(235)内，且与固定座(235)螺纹配合。

4.如权利要求3所述的Michelson白光干涉光纤液压传感器，其特征在于：所述聚焦透镜安装座上设置有安装凸台，所述安装凸台上套装有安装套；所述安装套上设置有紧固螺丝(232)；所述光纤自聚焦透镜(231)安装在安装凸台顶部。

5.如权利要求1-4任意一项权利要求所述的Michelson白光干涉光纤液压传感器的测量系统，其特征在于：包括宽光谱光源(1)、光电探测器(2)、光纤耦合器(3)、第一光纤跳线(4)、第二光纤跳线(5)、扫描位移台(6)、光纤自聚焦透镜(7)、第一平面反射镜(8)、基于Michelson白光干涉的光纤液压传感器(9)、防水导管(10)；

所述光纤自聚焦透镜(7)滑动安装在扫描位移台(6)上，所述第一平面反射镜(8)固定安装在扫描位移台(6)上；

所述宽光谱光源(1)发出的光通过光纤耦合器(3)后被分成两束光，一束进入第一光纤跳线(4)作为参考光，一束进入第二光纤跳线(5)作为传感光；

所述参考光从由第一光纤跳线(4)进入到光纤自聚焦透镜(7)；然后由光纤自聚焦透镜(7)中出射并被平面反射镜(8)反射后原路返回；

所述传感光由第二光纤跳线(5)进入储液罐(11)后通过防水导管(10)进Michelson白光干涉光纤液压传感器(9)并由光纤自聚焦透镜固定装置上的光纤自聚焦透镜出射到反射镜固定装置(22)中的平面反射镜上并原路返回；

反射回来的传感光和参考光通过光纤耦合器(3)合成一束光并被光电探测器(2)接收。