[发明专利]一种自动切换防着板的溅镀机

说明书

本发明公开了一种自动切换防着板的溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，输送台的两侧均设置有防着板自动换位组件；防着板自动换位组件包含防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件；防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；旋转驱动机构带动防着板转动，移动驱动机构带动支撑架横移；升降驱动部件带动托板升降，使其与下侧的弯折部配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，旋转驱动机构可控制支撑架旋转换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。

技术领域

本发明涉及一种自动切换防着板的溅镀机。

背景技术

真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多通过斜向设置，或加工成弧面来增加覆盖范围，但由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，并不能在防着板的整体均匀分布，使得防着板需要更换清理的频率较高，周期较短，增加了成本，浪费了人力。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明的目的是：提出了一种自动切换防着板的溅镀机。

本发明的技术解决方案是这样实现的：一种自动切换防着板的溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板自动换位组件；所述防着板自动换位组件包含防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件；所述防着板沿竖向设置，防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；所述防着板转动设置在支撑架上，支撑架滑动设置在移动驱动机构上，旋转驱动机构带动防着板转动，移动驱动机构带动支撑架横移；所述托板设置在防着板的下侧，升降驱动部件带动托板升降，使其与下侧的弯折部配合。

优选的，所述弯折部上设置有锁定孔，托板上设置有与锁定孔配合的定位销。

优选的，所述防着板连同弯折部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。

优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

本发明的自动切换防着板的溅镀机，其防着板自动换位组件由防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件组成，防着板的上下两侧具有相互对称的弯折结构，由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，旋转驱动机构可控制支撑架旋转换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。

附图说明

下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：

附图1为本发明的一种自动切换防着板的溅镀机的示意图；

附图2为本发明的颗粒凸起结构的示意图。

具体实施方式

下面结合附图来说明本发明。

如附图1-2所示，本发明所述的一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源1、输送台2和工作台3，工作台3设置在输送台2上，输送台2带动工作台3移动切换工位，溅镀源1设置在当前工作台3的上方，输送台2的两侧均设置有防着板组件。