[发明专利]MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法

权利要求书

1.一种MEMS传感器，具有以下特征：

MEMS装置，包括：

第一可移动电极；

定子电极，所述定子电极与所述第一可移动电极相对地布置；

连接到所述定子电极的第一偏置电压源，所述第一偏置电压源被配置为将第一偏置电压施加到所述定子电极；和

通过电容耦合连接到所述定子电极的共模读出电路，所述共模读出电路包括第二偏置电压源，所述第二偏置电压源被设计为将第二偏置电压施加到所述电容耦合的背离所述定子电极的一侧。

2.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述MEMS传感器还包括第二可移动电极，所述第二可移动电极与所述第一可移动电极相对地布置，其中所述定子电极布置在所述第一可移动电极和所述第二可移动电极之间。

3.根据权利要求2所述的MEMS传感器，其中所述第一可移动电极和所述第二可移动电极被配置为连接到共同的第一电位，并且其中所述定子电极被配置为连接到不同于所述第一电位的第二电位。

4.根据权利要求3所述的MEMS传感器，其中所述第一电位是所述MEMS传感器的参考电位。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一可移动电极和所述第二可移动电极能够沿相同方向移动。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一可移动电极和所述第二可移动电极穿过所述定子电极的平面彼此机械连接，并且被构造成执行同时的移动。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述共模读出电路被构造成检测所述第一可移动电极与所述定子电极之间的第一电容值和所述第二可移动电极与所述定子电极之间的第二电容值。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一可移动电极和所述定子电极中的至少一个被衬底保持，所述衬底被配置为与所述MEMS传感器的参考电位连接。

9.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一可移动电极和所述定子电极中的至少一个被衬底保持，其中所述衬底与所述第一可移动电极和所述衬底的周围环境电绝缘。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一偏置电压源被构造成施加具有至少3V电位的第一偏置电压，并且其中所述第二偏置电压源被构造成施加具有至多2.5V的第二偏置电压。

11.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一偏置电压和所述第二偏置电压是直流电压。

12.根据权利要求2至4中任一项所述的MEMS传感器，其中所述第一可移动电极在空闲状态中以距所述定子电极第一距离布置，并且所述第二可移动电极在所述空闲状态中以距所述定子电极第二距离布置，所述第二距离与所述第一距离不同。

13.根据权利要求12所述的MEMS传感器，其中所述第一距离与所述第二距离的商具有至少1.1的值。

14.根据权利要求3或4所述的MEMS传感器，

其中所述定子电极具有第一定子电极元件和相对的第二定子电极元件，所述第一定子电极元件面向所述第一可移动电极布置，所述第二定子电极元件面向所述第二可移动电极布置，其中所述MEMS传感器被构造成以相互不同的电位加载所述第一定子电极元件和所述第二定子电极元件。

15.根据权利要求14所述的MEMS传感器，所述MEMS传感器被构造成检测所述第一可移动电极相对于所述第一定子电极元件的第一移动和所述第二可移动电极相对于所述第二定子电极元件的第二移动。