[发明专利]超声波装置

说明书

一种超声波装置，能够抑制朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声所带来的影响。该超声波装置具备：超声波元件基板(16)，具有向第一方向(11)发送超声波的超声波元件阵列(6)以及设置于超声波元件阵列(6)的第一方向(11)侧的第一导电膜(17)；壳体部(13)，具有导电部件(21)，该导电部件(21)在超声波元件基板(16)的与第一方向(11)交叉的方向上一侧包围超声波元件基板(16)而设置；以及支承基板(14)，具有导电性并设置于超声波元件基板(16)的与第一方向(11)相反一侧、对超声波元件基板(16)进行支承。

技术领域

本发明涉及超声波装置。

背景技术

超声波探测器是向被检测体发送超声波并接收在被检测体的内部、表面反射的反射波的装置。并且，超声波探测器是将接收到的反射波转换为电信号的换能器。超声波探测器构成超声波装置的一部分，也称作超声波探头。超声波装置具备运算电路，超声波探测器输出的电信号被输入该运算电路。并且，运算电路运算被检测体的内部的剖面图像。该剖面图像称作超声波图像。

超声波探测器具备多个超声波元件排列而成的超声波元件阵列。并且，各超声波元件发送超声波并接收反射波。超声波元件有在振动膜设置电极的CMUT(CapacitiveMicromachined Ultrasonic Transducer：电容式微机械超声换能器)方式、应用了压电元件的PMUT(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer：压电超声换能器)方式等。超声波元件阵列由超声波元件排列而成并通过布线连接。布线将各超声波元件连接而变得较长，因此容易接收电磁波噪声。

CMUT方式的超声波探测器在专利文献1中公开。据该文献，超声波元件阵列向第一方向发送超声波。并且，在超声波元件阵列的第一方向侧设置有导电膜。进一步地，在超声波元件阵列的与第一方向正交的侧也设置有导电膜。这些导电膜与超声波装置的机壳接地(Chassis ground)连接。由此，抑制由于朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声而在超声波元件阵列输出的电信号中加入噪声。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2008/114582号

专利文献1的超声波探测器未在超声波元件阵列的第一方向相反侧设置导电膜。因此，不能抑制从与所述第一方向相反一侧朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声所带来的影响。这些电磁波噪声不仅在上述那样的超声波探测器中、在使用超声波测量被测量物的有无、测量距离等的超声波装置中也同样成为问题。因此，希望提供一种能够抑制朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声所带来的影响的超声波装置。

发明内容

本发明是为了解决上述技术问题而作出的，能够作为以下的形态或者应用例来实现。

[应用例1]

本应用例的超声波装置的特征在于，具备：超声波元件基板，具有向第一方向发送超声波的超声波元件阵列以及设置于所述超声波元件阵列的所述第一方向一侧的第一导电膜；壳体部，具有导电部件，所述导电部件在所述超声波元件基板的与所述第一方向交叉的方向上一侧包围所述超声波元件基板而设置；以及支承基板，具有导电性并设置于所述超声波元件基板的与所述第一方向相反一侧，对所述超声波元件基板进行支承。

根据本应用例，超声波装置具备超声波元件基板、壳体部以及支承基板。在超声波元件基板设置有超声波元件阵列以及第一导电膜。超声波元件阵列向第一方向发送超声波。超声波元件阵列由超声波元件排列而成并通过布线连接。布线将各超声波元件连接而变得较长，因此容易接收电磁波噪声。