[发明专利]一种超导回旋加速器真空室清洗设备与清洗方法

权利要求书

1.一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，包括超导回旋加速器真空室(3)，超导回旋加速器真空室(3)上接通有四组真空系统分子泵(1)，真空系统分子泵(1)上设置有真空系统插板阀(2)，真空系统插板阀(2)与机械泵及电源(4)密封连接，所述超导回旋加速器真空室(3)的底部连接有两个接口法兰，一个接口法兰通过大气支管(9)与大气接通，大气支管(9)上设置有阀门与温度传感器，另一个接口法兰连接有加热器支路或高纯氮气瓶支路，所述高纯氮气瓶支路包括高纯氮气瓶，所述加热器支路包括通过尼龙管依次串联的第二精密油水分离器(8)、加热器(5)、第一精密油水分离器(6)与空气压缩机(7)，接口法兰与加热器支路靠近第二精密油水分离器(8)的一端连接；

利用该真空室清理设备进行清洗的方法包括如下步骤：

在超导加速器真空室检漏完成后，关闭机械泵及电源(4)，停止分子泵水冷系统，并关闭四组真空系统插板阀(2)；

将空气压缩机(7)、第一精密油水分离器(6)、加热器(5)以及第二精密油水分离器(8)依次串联后通过超导回旋加速器真空室(3)底部的一个接口法兰与超导回旋加速器真空室(3)连接，超导回旋加速器真空室(3)底部的另一个接口法兰保持敞开与大气接通；

启动加热器(5)和空气压缩机(7)电源，通过阀门将空气压缩机(7)的出口气压控制在5bar,加热器(5)的出口空气温度控制在37-38℃，加热器(5)的出口气压控制在1.1atm；

向超导回旋加速器真空室(3)中持续注入干燥恒温空气，直至大气支管(9)的出口处的气流温度与超导回旋加速器真空室(3)的干燥空气进口一端的温度保持一致；

关闭加热器(5)和空气压缩机(7)的电源，关闭加热器支路与超导回旋加速器真空室(3)的连接，快速将超导回旋加速器真空室(3)与高纯氮气瓶支路连接，保持高纯氮气瓶的出口气压为1.1atm，并向超导回旋加速器真空室(3)内缓慢注入高纯干燥氮气，将超导回旋加速器真空室(3)内的大气全部置换出去；

快速关闭超导回旋加速器真空室(3)底部两处连接法兰，开启真空系统插板阀(2)及水冷回路，启动机械泵及电源(4)进行粗抽至超导回旋加速器真空室(3)内气压值至3.5Pa时，启动四组真空系统分子泵(1)的电源进行真空抽气。

2.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，所述尼龙管与各部件之间的连接处采用卡套管或VCR管作为管接头进行真空密封。

3.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，所述第二精密油水分离器(8)与加热器(5)之间的尼龙管道上设置有阀门、温度传感器与压力表，所述第一精密油水分离器(6)与空气压缩机(7)之间的尼龙管道上设置有阀门与压力表。

4.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，所述第一精密油水分离器(6)与所述第二精密油水分离器(8)对碳氢化合物过滤效率均不高于0.01ppm，工作压力均不高于7bar。

5.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，所述加热器(5)采用不锈钢电加热管，热效率大于0.9，温升速率可达10℃/s。

6.根据权利要求1所述的一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，所述空气压缩机(7)可采用高纯氮气瓶代替。