[发明专利]谐振器在审
| 申请号： | 201810866698.3 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109103559A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 孙骏逸;熊康林;陆晓鸣;黄永丹;冯加贵;武彪;丁孙安 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01P7/06 | 分类号： | H01P7/06 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振器 侧板 复合板 谐振腔 基板 表面粗糙度 品质因子 腔体表面 金属板 金属层 拼接 微波 封闭 | ||
1.一种谐振器，其特征在于，包括多个侧板，所述多个侧板拼接形成封闭的谐振腔，多个侧板包括至少一个金属板和至少一个复合板，所述复合板包括基板和设置于所述基板的表面上的金属层。
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述侧板的数量为六个，六个所述侧板拼接形成呈长方体状的谐振腔。
3.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述侧板彼此独立，或者至少两个侧板一体成型。
4.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，所述多个侧板中，面积最小的两个相对的侧板为金属板，所述多个侧板中至少有两个相对的侧板为复合板。
5.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振腔具有至少一个通孔，所述通孔分布于至少一个金属板上。
6.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述金属板的表面被进行超精密抛光处理，和/或所述金属板的表面粗糙度小于10nm。
7.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述金属层的厚度为10nm-10μm，和/或所述金属层的表面粗糙度小于1nm。
8.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述基板由合金或电介质构成。
9.根据权利要求8所述的谐振器，其特征在于，所述电介质包括高阻硅、聚合物、陶瓷或蓝宝石中的一种。
10.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述金属板采用铝、铌、铟、锡中的至少一种组成。
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