[发明专利]一种基于可打印微米线阵列敏感层的柔性气体传感器及其制备方法在审
申请号: | 201810867874.5 | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN108956716A | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 王丽丽;王康 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 刘世纯;王恩远 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微米线 气体传感器 锗酸锌 敏感层 制备 柔性电阻 电极 打印 二甲酸乙二醇酯 纳米线电极 表面沉积 衬底表面 电子传输 电子领域 径向垂直 器件性能 一维结构 直接打印 传感器 可穿戴 沉积 分立 环保 应用 | ||
1.一种基于可打印锗酸锌微米线阵列敏感层的柔性气体传感器的制备方法,其步骤如下:
(1)将厚度40~80μm的柔性聚二甲酸乙二醇酯分别用乙醇、丙酮、水依次超声清洗10~30分钟,烘干得到柔性薄膜衬底;
(2)制备锗酸锌静电纺丝溶液:将0.1~1.0g的醋酸锌和0.1~0.5g的已氧基锗一起加入到5mL的二甲基甲酰胺溶液中,在600~1000rpm转数下搅拌1~3小时后得到溶液作为A溶液;将1.5~5.5g的聚乙烯吡咯烷酮加入到15mL的二甲基甲酰胺溶液中,在600~1000rpm转数下搅拌3~5小时后得到溶液作为B溶液;然后将B溶液加入到A溶液中,在600~1000rpm转数下搅拌12~15小时后得到锗酸锌静电纺丝溶液;
(3)将步骤(2)得到锗酸锌静电纺丝溶液加入到30~100mL的注射器中,针头距离步骤(1)得到的柔性薄膜衬底距离为0.5~2.0mm,静电纺丝电压为1~2kV,将步骤(2)得到的锗酸锌静电纺丝溶液打印到在步骤(1)得到的柔性聚二甲酸乙二醇酯柔性薄膜衬底上,然后在350~400℃空气气氛下煅烧10~15小时,得到微米线与微米线间距为100~300μm、微米线直径范围为8~12μm的锗酸锌微米线阵列;
(4)在步骤(3)得到的锗酸锌微米线阵列的两端沉积得到两个彼此分立的电极,电极之间间距为10~80μm,电极厚度为80~150nm,电极与微米线阵列的径向相垂直,从而得到基于可打印锗酸锌微米线阵列敏感层的柔性气体传感器。
2.如权利要求1所述的一种基于可打印锗酸锌微米线阵列敏感层的柔性气体传感器的制备方法,其特征在于:电极为银电极、金电极或石墨烯电极。
3.一种基于可打印锗酸锌微米线阵列敏感层的柔性气体传感器,其特征在于:是由权利要求1或2任何一项所述的方法制备得到。
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