[发明专利]去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统及方法在审
| 申请号： | 201810870725.4 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN108680422A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 姜允中 | 申请（专利权）人： | 济南兰光机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/34 | 分类号： | G01N1/34 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250031 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锆陶瓷管 惰性气体 净化装置 高纯度 去除 负电极 水分子 正电极 净化能力 内外表面 电势差 无损耗 氧分子 电极 通电 净化 维护 | ||
1.去除高纯度惰性气体中水分的净化装置，其特征是，包括：氧化锆陶瓷管，所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设有电极，其中一个电极为正电极，另一个电极为负电极；
所述氧化锆陶瓷管在设定的温度下且所述正电极及负电极通电形成电势差，将通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的水分子去除。
2.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置，其特征是，所述去除高纯度惰性气体中水分的净化装置还能去除通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的氧分子。
3.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置，其特征是，所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设置有作为电极的涂层，其中内表面通负电极，外表面通正电极。
4.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置，其特征是，所述氧化锆陶瓷管内外表面的涂层均为铂金电极涂层。
5.如权利要求1所述的去除高纯度惰性气体中水分的净化装置，其特征是，所述高纯惰性气体为氮气或氦气，或其它在高温下性质稳定，不与周围其它气体发生化学反应的气体。
6.去除高纯度惰性气体中水分的净化系统，其特征是，包括权利要求1-5任一所述去除高纯度惰性气体中水分的净化装置，还包括加热控温系统，所述加热控温系统用于加热氧化锆陶瓷管，使其处于设定的温度。
7.水蒸气透过率测试系统，所述水蒸气透过率测试系统所利用的惰性气体通过权利要求1-5任一所述去除高纯度惰性气体中水分的净化装置去除水分。
8.氧气透过率测试系统，所述氧气透过率测试系统所利用的惰性气体通过权利要求1-5任一所述去除高纯度惰性气体中水分的净化装置去除氧分子。
9.去除高纯度惰性气体中水分的净化装置的净化方法，其特征是，包括：
对氧化锆陶瓷管加热至设定温度使其处于高温状态；
氧化锆陶瓷管的两极通电形成电动势差；
将高纯度惰性气体通入氧化锆陶瓷管，除去高纯度惰性气体的水及氧。
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