[发明专利]一种防着板及蒸镀设备

说明书

本发明公开了一种防着板及蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域，可解决相关技术中的防着板因对蒸镀材料的粘附量较小而影响产品生产效率的问题。该防着板包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。本发明用于阻挡蒸镀材料粘附到蒸镀腔室的腔壁上。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种防着板及蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置因具有良好的图像质量、能自发光、无视角障碍、工作温度范围大等优点，已被认为是继液晶显示装置之后最具市场价值的新一代显示装置。通常OLED采用蒸镀工艺制作，在基板上根据需求沉积不同的有机材料及无机材料，从而形成有机发光器件。蒸镀工艺腔室的腔壁会使用防着板进行保护，防着板用于对未利用的蒸镀材料进行阻挡，防止其粘附到腔壁上难以清除，造成设备部件损坏。

参照图1，相关技术中的防着板01表面平整，为增大对蒸发源02蒸发出的蒸镀材料的粘附力，通常会在其表面进行喷砂处理，然而，该防着板01对蒸镀材料的粘附量较小，使用较短的时间后其上粘附的蒸镀材料就会出现掉落(peeling)现象，进而影响产品质量，因此在短时间内就需要停机对防着板01进行更换，浪费生产时间，影响产品的生产效率。

发明内容

本发明的实施例提供一种防着板及蒸镀设备，可解决相关技术中的防着板因对蒸镀材料的粘附量较小而影响产品生产效率的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例提供了一种防着板，包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。

可选的，所述空腔通过通孔连通所述本体用于粘附所述蒸镀材料的所述外表面。

可选的，所述空腔包括主腔室和设于所述主腔室内表面上的多个凹槽。

可选的，所述主腔室的内表面包括非平面，所述非平面上设有所述凹槽。

可选的，所述非平面为波浪面。

可选的，所述凹槽为圆形凹槽。

可选的，所述通孔为多个，多个所述通孔均匀分布于所述空腔和所述本体用于粘附所述蒸镀材料的所述外表面之间。

可选的，所述通孔的内端尺寸小于外端尺寸。

可选的，所述通孔垂直于自身轴线的截面为圆形。

本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有蒸发源，所述蒸发源的蒸发口与所述蒸镀腔室的腔壁之间设有上述任一技术方案所述的防着板。

本发明实施例提供的防着板及蒸镀设备，由于包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料，因此在蒸镀时，未利用的蒸镀材料不仅可粘附于本体的外表面上，还可进入所述空腔并粘附于所述空腔的内表面上，即增大了用于粘附蒸镀材料的面积，从而增大了对蒸镀材料的粘附量，因此使用较长时间后蒸镀材料才会出现掉落现象，从而延长了防着板的更换周期，进而减少了生产时间的浪费，也就减小了对产品生产效率造成的影响。

附图说明

图1为现有技术中防着板和蒸镀源的示意图；

图2为本发明实施例防着板和蒸镀源的示意图；

图3为图2中防着板的仰视图。

具体实施方式