[发明专利]一种小型数字化光学干涉仪

权利要求书

1.一种小型数字化光学干涉仪，包括光学平台（1）、半导体激光器（2）、扩束透镜（4）、准直透镜（6）、干涉元件（8）和CCD相机（18），其特征在于：光学平台（1）的一侧安装有激光器支架（3），半导体激光器（2）安装在激光器支架（3）上，光学平台（1）中间靠近激光器支架（3）一侧的位置安装有扩束透镜支架（5），扩束透镜（4）安装在扩束透镜支架（5）上，光学平台（1）的中间安装有准直透镜支架（7），准直透镜（6）安装在准直透镜支架（7）上，光学平台（1）上与激光器支架（3）相对的另一侧安装有CCD相机支架（19），CCD相机支架（19）上安装有CCD相机（18），CCD相机支架（19）和准直透镜支架（7）之间的光学平台（1）上安装有直线滑台（10），直线滑台（10）的上端安装有干涉元件支架（9），干涉元件（8）安装在干涉元件支架（9）上，光学平台（1）上端一侧设置有处理器（20），处理器（20）与设置在光学平台（1）外部的电脑（21）连接。

2.根据权利要求1所述的一种小型数字化光学干涉仪，其特征在于：直线滑台（10）包括滑座（11）、滚珠丝杆（12）、滑杆（13）、联轴器（14）、步进电机（15）、丝杆螺母（16）和滑动座（17），滑座（11）的中间位置安装有滚珠丝杆（12），滚珠丝杆（12）的两侧对称安装有两个滑杆（13），滚珠丝杆（12）的一端通过联轴器（14）与步进电机（15）转轴连接，滚珠丝杆（12）上安装有丝杆螺母（16），丝杆螺母（16）上安装有滑动座（17），滑动座（17）的两端与两个滑杆（13）滑动连接，干涉元件支架（9）安装在滑动座（17）上。

3.根据权利要求1所述的一种小型数字化光学干涉仪，其特征在于：半导体激光器（2）、扩束透镜（4）和准直透镜（6）的光轴等高共线。

4.根据权利要求1所述的一种小型数字化光学干涉仪，其特征在于：直线滑台（10）滑动方向与半导体激光器（2）发出的激光束方向相互垂直。

5.根据权利要求1所述的一种小型数字化光学干涉仪，其特征在于：电脑（21）与步进电机（15）连接。

6.根据权利要求1所述的一种小型数字化光学干涉仪，其特征在于：光学平台（1）的四周安装有围挡（22）。