[发明专利]母板曝光方法

说明书

本发明提供一种母板曝光方法。该母板曝光方法通过将对应每一行液晶面板及与每一行液晶面板相邻的非面板区的光罩中的左侧曝光区设置成对应液晶面板右侧图案区，右侧曝光区设置成对应液晶面板左侧图案区，中心曝光区设置成对应液晶面板中心图案区及与每一行液晶面板相邻的非面板区，可以通过所述光罩同时对每一行液晶面板及与每一行液晶面板相邻的非面板区进行曝光，通过一次曝光同时完成液晶面板及与该液晶面板相邻的非面板区的曝光，不需要通过额外的曝光动作单独曝光非面板区，可以减少光罩曝光次数，节省产能，提高生产效率，降低面板生产成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种母板曝光方法。

背景技术

薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管基板(Thin FilmTransistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片(Color Filter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

随着人们的消费习惯变化，大尺寸液晶面板越来越受广大消费者青睐，市场上大尺寸(大于65英寸)液晶面板需求越来越多。面板厂现有大多数世代线为6代线以及8.5代线，65寸及以上的液晶面板尺寸大于6代线以及8.5代线的光罩尺寸，因此，对应大尺寸液晶面板的光罩设计时需要使用光罩拼接设计。液晶面板在大板上排版时，若大板上有空余区域(dummy区域)，曝光时通常会将光罩部分图案在空余区域曝光，保证液晶面板中间和边缘处图案密度相当，避免出现刻蚀时液晶面板边缘因密度小而出现过刻或者刻蚀不足现象，影响液晶面板均一性和品质，最终成品的液晶面板上不会出现空余区域图案，因此称为dummy区域。现有光罩拼接设计方法，在完成液晶面板的曝光后，还需采用额外的曝光动作(shot)来完成dummy区域的曝光，会增加额外产能，降低生产效率，提高了产品生产成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种母板曝光方法，可以减少光罩曝光次数，节省产能，提高生产效率，降低面板生产成本。

为实现上述目的，本发明提供了一种母板曝光方法，包括如下步骤：

步骤S1、提供母板，所述母板包括面板区及与所述面板区相邻的非面板区；所述面板区包括呈阵列排布的多个液晶面板；每一液晶面板均包括依次相连的左侧图案区、中心图案区及右侧图案区；

步骤S2、对应每一行液晶面板及与每一行液晶面板相邻的非面板区均提供光罩，所述光罩包括对应液晶面板右侧图案区的左侧曝光区、对应液晶面板中心图案区的至少两个中心曝光区以及对应液晶面板左侧图案区的右侧曝光区；所述中心曝光区还同时对应与每一行液晶面板相邻的非面板区；

步骤S3、通过所述光罩同时对每一行液晶面板及与每一行液晶面板相邻的非面板区进行曝光，通过一次曝光同时完成液晶面板及与该液晶面板相邻的非面板区的曝光。

当面板区位于母板的右侧时，非面板区位于母板的左侧；所述步骤S3中，同时对对应液晶面板左侧图案区的右侧曝光区以及对应与每一行液晶面板相邻的非面板区的中心曝光区进行曝光，通过一次曝光同时完成液晶面板左侧图案区及与该液晶面板左侧图案区相邻的非面板区的曝光。

所述左侧曝光区还同时对应与每一行液晶面板相邻的非面板区。