[发明专利]双光栅可调谐太赫兹开关在审
| 申请号： | 201810875735.7 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109061909A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李九生;邓玉强 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;H01P1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏置电压 可调谐 信号输入端 双光栅 二氧化硅层 金属电极端 信号输出端 光栅 垂直金属 关闭性能 开关特性 开关性能 太赫兹波 行进控制 基底层 石墨烯 透射率 操控 灵活 制造 | ||
1.一种双光栅可调谐太赫兹开关，其特征在于包括基底层（1）、二氧化硅层（2）、金属电极端（3）、垂直金属条（4）、水平石墨烯光栅（5）、偏置电压（6）、信号输入端（7）、信号输出端（8）；基底层（1）为绝缘硅层，基底层（1）的上层为二氧化硅层（2），金属电极端（3）位于二氧化硅层（2）的左右两端，二氧化硅层（2）的上层铺有周期等间距排列的垂直金属条（4）、周期等间距排列的水平石墨烯光栅（5），垂直金属条（4）与水平石墨烯光栅（5）相互交叉周期性排列，信号输入端（7）位于金属条层上方，信号输出端（8）位于基底层的下方，偏置电压（6）的两级分别接在金属电极端（3）与基底层（1），当太赫兹波从信号输入端（7）输入时，依次经过金属条（4）与水平石墨烯光栅（5）层、二氧化硅层（2）、基底层（1）由信号输出端（8）输出信号，通过调节偏置电压（6），改变超材料的透射率，实现对太赫兹开关特性的控制，当偏置电压由0.5eV增加到1.5eV时，太赫兹器件的透射率由99.5%降低到17.5%以下，实现了可调谐太赫兹开关的打开与关闭性能。
2.根据权利要求1所述的一种双光栅可调谐太赫兹开关，其特征在于所述的基底层（1）的材料为绝缘硅，长度为245~255μm，宽度为275~285μm，厚度为24~26μm。
3.根据权利要求1所述的一种双光栅可调谐太赫兹开关，其特征在于所述的二氧化硅层（2）的长度为245~255μm，宽度为275~285μm，厚度为12~14nm。
4.根据权利要求1所述的一种双光栅可调谐太赫兹开关，其特征在于所述的金属电极端（3）的材料为铜，总长度为245~255μm，宽度为14~18μm，厚度为17~19μm。
5.根据权利要求1所述的一种双光栅可调谐太赫兹开关，其特征在于所述的垂直金属条（4）材料为Au，光栅的长度为35~45μm，宽度为8~12μm，厚度为0.32~0.36nm。
6.根据权利要求1所述的一种双光栅可调谐太赫兹开关，其特征在于所述的水平石墨烯光栅（5）的材料为石墨烯，总长度为245~255μm，宽度为5~6μm。
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