[发明专利]衍射光学元件及计测装置

权利要求书

1.一种衍射光学元件，多个基本单元二维且周期性地排列，对入射的光产生二维的衍射光，其特征在于，

通过使上述衍射光投影到平面上，而在上述平面上的规定范围内以随机分布或者分散型分布的方式产生多个光斑，所述分散型分布是以非随机且非等间隔的方式控制光斑间隔的分布，

设上述规定范围为四边形时，将上述规定范围均匀地分割为大致同一形状的N_x×N_y个以上的区域，设上述分割的区域中处于上述规定范围的中心区域的区域的上述光斑的数量为M_c、处于上述规定范围的4角的区域的上述光斑的数量的平均值为M_o、照射到上述规定范围的最大衍射角度为θd时，N_x及N_y均为3以上的奇数，且

15°≤θd

M_o/M_c-0.02173×θd+1.314。

2.一种衍射光学元件，多个基本单元二维且周期性地排列，对入射的光产生二维的衍射光，其特征在于，

通过使上述衍射光投影到平面上，而在上述平面上的规定范围内以随机分布或者分散型分布的方式产生多个光斑，所述分散型分布是以非随机且非等间隔的方式控制光斑间隔的分布，

设上述规定范围为四边形时，将上述规定范围均匀地分割为大致同一形状的N_x×N_y个以上的区域，设上述分割的区域中处于上述规定范围的中心区域的区域的上述光斑的数量为M_c、处于上述规定范围的4角的区域的上述光斑的数量的平均值为M_o、照射到上述规定范围的最大衍射角度为θd时，N_x及N_y均为3以上的奇数，且

15°≤θd

0.8≤M_o/M_c≤1.2。

3.一种衍射光学元件，多个基本单元二维且周期性地排列，对入射的光产生二维的衍射光，其特征在于，

通过使上述衍射光投影到平面上，而在上述平面上的规定范围内以随机分布或者分散型分布的方式产生多个光斑，所述分散型分布是以非随机且非等间隔的方式控制光斑间隔的分布，

上述基本单元具有通过对用于设计的规定的衍射光的图案进行傅里叶变换或傅里叶逆变换而得到的相位分布的信息，

照射到上述规定范围的最大衍射角度为θd时，15°≤θd，

上述用于设计的规定的衍射光的图案中，相对于上述用于设计的规定的衍射光的图案的中心区域的光强度，周边区域的光强度为0.4以上。

4.一种衍射光学元件，多个基本单元二维且周期性地排列，对入射的光产生二维的衍射光，其特征在于，

通过使上述衍射光投影到平面上，而在上述平面上的规定范围内以随机分布或者分散型分布的方式产生多个光斑，所述分散型分布是以非随机且非等间隔的方式控制光斑间隔的分布，

设上述规定范围为四边形时，将上述规定范围均匀地分割为大致同一形状的N_x×N_y个以上的区域，上述分割的区域包括由衍射角为15°以上的衍射光构成的周边区域，上述分割的区域中，相对于上述规定范围的中心区域的光强度，上述周边区域的光强度为0.4以上。

5.根据权利要求4所述的衍射光学元件，具有：

第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；

第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光。