[发明专利]提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法在审
| 申请号： | 201810877586.8 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108882533A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 马洪伟;高奇峰 | 申请（专利权）人： | 江苏普诺威电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 张文婷 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工作片 微机电系统 槽孔板 对位精准度 成型线 加工 产品制作成本 企业竞争力 大小一致 客户要求 曝光对位 企业收益 生产效率 定位孔 对位槽 精准度 板件 良率 超标 外部 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法，所述微机电系统-槽孔板包括工作片(1)，所述工作片上设有工作片成型线(2)，该工作片的四角位于工作片成型线外钻有定位孔(3)，该工作片位于工作片成型线内加工有器件槽(4)，其特征在于：加工所述工作片成型线内的器件槽(4)时，在所述工作片位于工作片成型线外部的四角同时加工四个大小一致的对位槽(5)。
2.根据权利要求1所述的提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法，其特征在于：在所述对位槽(5)的四边外再分别用同一支铣刀加工出两个小孔(6)，八个小孔到所述对位槽槽边的距离相同。
3.根据权利要求2所述的提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法，其特征在于：八个小孔到所述对位槽槽边的距离均为0.04mm。
4.根据权利要求1所述的提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法，其特征在于：所述对位槽为方形槽。
5.根据权利要求1所述的提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法，其特征在于：其中一个对位槽到所述工作片成型线的距离与其他三个对位槽不同。
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