[发明专利]一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法及CMP抛光垫在审
| 申请号： | 201810877758.1 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108818300A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 宋思琪 | 申请（专利权）人： | 成都时代立夫科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 蒋秀清;李春芳 |
| 地址： | 610200 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 窗口材料 衬底 基材 抛光垫 制备 孔洞 冲压模具 孔洞位置 不均匀 分体式 冲压 贴合 成型 支撑 节约生产成本 密度分布 制造过程 报废率 冲压机 底涂剂 后基材 抛光 背胶 拉伸 切片 固化 涂抹 雕刻 一体化 | ||
1.一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法,其特征在于，包括以下步骤：
(1)取基材(1)并对基材(1)雕刻沟槽(6)；
(2)取衬底(4)并在衬底(4)底部贴一层背胶B(9)；
(3)在雕刻沟槽(6)的基材(1)上雕刻出一个放置窗口材料(8)的窗口孔洞(2)；
(4)将雕刻了窗口孔洞(2)的基材(1)和贴了背胶B(9)的衬底(4)通过背胶A(3)贴合，再用衬底冲压模具在基材(1)的窗口孔洞(2)位置将衬底(4)冲压出一个衬底孔洞(5)，同时在窗口孔洞(2)的底部两侧形成两个窗口支撑块(7)；
(5)另取窗口材料并用冲压机和窗口材料冲压模具对窗口材料进行冲压，得到成型的窗口材料(8)；
(6)在窗口支撑块(7)上涂抹一层底涂剂；
(7)将成型的窗口材料(8)放在窗口孔洞(2)位置，贴于窗口支撑块(7)上，得到CMP抛光垫。
2.根据权利要求1所述的一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法，其特征在于，所述窗口孔洞(2)形状为椭圆形，长边35～41mm，圆弧半径8.6～10.6mm，窗口中心距离基材(1)圆心98.5～104.5mm。
3.根据权利要求2所述的一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法，其特征在于，所述窗口孔洞(2)长边38mm，圆弧半径9.5mm，窗口中心距离基材(1)圆心101.5mm。
4.根据权利要求1所述的一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法，其特征在于，所述衬底冲压模具为椭圆形，尺寸比窗口孔洞(2)外围小2.7～3.3mm。
5.根据权利要求1所述的一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法，其特征在于，所述窗口材料冲压模具与窗口孔洞(2)尺寸相同。
6.根据权利要求1所述的一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法，其特征在于，所述底涂剂为Primer94。
7.一种CMP抛光垫，包括基材(1)、衬底(4)、背胶A(3)以及背胶B(9)，所述基材(1)上雕刻有若干沟槽(6)，其特征在于，所述基材(1)上还雕刻有一个窗口孔洞(2)，所述衬底(4)上设有一个衬底孔洞(5)，所述窗口孔洞(2)内嵌设有相应的窗口材料(8)，所述窗口孔洞(2)的底部两侧设有两个窗口支撑块(7)。
8.根据权利要求7所述的一种CMP抛光垫，其特征在于，所述窗口孔洞(2)与衬底孔洞(5)具有相同的孔洞中心，且衬底孔洞(5)比窗口孔洞(2)尺寸小。
9.根据权利要求8所述的一种CMP抛光垫，其特征在于，所述衬底孔洞(5)比窗口孔洞(2)尺寸小2.7～3.3mm。
10.根据权利要求7所述的一种CMP抛光垫，其特征在于，所述窗口支撑块(7)关于窗口孔洞(2)和衬底孔洞(5)的中心对称。
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