[发明专利]一种智能沉积系统

权利要求书

1.一种智能沉积系统，其特征在于包括控制组件、扫描模组、激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；

所述基片上与所述第一固定平台相对的一面贴有掩模；所述掩模上设置有多个呈矩阵分布的沉积孔；所述控制组件与所述激光源、所述至少两个驱动机构以及所述扫描模组分别通信连接，所述扫描模组将检测到的厚度分布信息上传给所述控制组件，所述第一固定平台内部设置有加热组件，所述加热组件包括多个呈矩形阵列分布的加热元件，该多个加热元件分别与该多个沉积孔相对，所述控制组件用于根据所述厚度分布信息控制对应的加热组件的各个加热元件以对应的功率进行加热，其中，复合材料沉积的平均厚度大的基片对应的加热元件的加热功率大于复合材料沉积的平均厚度小的基片。

2.根据权利要求1所述的一种智能沉积系统，其特征在于还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述一驱动机构电连接。

3.根据权利要求1所述的一种智能沉积系统，其特征在于所述真空室的壁上设置有至少两个通孔，所述通光部包括覆盖在所述至少两个通孔处的至少两个石英玻璃。

4.根据权利要求1或者权利要求3所述的一种智能沉积系统，其特征在于还包括用于提供惰性气体的储气结构以及用于抽出惰性气体的真空泵；所述真空室的侧壁上开设进气孔以及出气孔，所述储气结构通过所述进气孔与所述真空室连通，所述真空泵通过所述出气孔与所述真空室连通。

5.根据权利要求1或者权利要求3所述的一种智能沉积系统，其特征在于所述扫描组件包括多个检测探头，该多个检测探头分布设置在相邻两个第一固定平台之间的间隙里。

6.根据权利要求1或者权利要求5所述的一种智能沉积系统，其特征在于所述检测探头包括超声波或者次声波发射探头以及超声波或者次声波接受探头。

7.根据权利要求1所述的一种智能化制作设备，其特征在于所述加热元件为加热膜。