[发明专利]一种基于头发上的柔性图像传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201810879858.8 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109103212B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘宝丹;张兴来;李晶;杨文进;张偲;刘小元;王柯;周洋;姜辛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01L27/30 | 分类号： | H01L27/30;H01L51/42;H01L51/44;H01L51/46;H01L51/48;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 发上 柔性 图像传感器 及其 制造 方法 | ||
1.一种基于头发上的柔性图像传感器，其特征在于，包括：柔性基底，覆盖在柔性衬底上的若干个基于头发上的紫外光敏感异质结材料；以及将若干个基于头发上的紫外光敏感异质结材料连接在一起并固定在柔性基底的金属电极；
基于头发上的紫外光敏感异质结材料，从内到外依次包括人类头发、掺杂Al的ZnO、ZnO纳米棒阵列、聚(9-乙烯基咔唑)和聚乙撑二氧噻吩-聚(苯乙烯磺酸盐)。
2.根据权利要求1所述的基于头发上的柔性图像传感器，其特征在于，柔性衬底为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、纸张或塑料。
3.根据权利要求1所述的基于头发上的柔性图像传感器，其特征在于，金属电极为Ag、Au或Ti/Au。
4.一种权利要求1至3之一所述的基于头发上的柔性图像传感器的制造方法，其特征在于，包括步骤：
S1：制备基于头发上的紫外光敏感异质结材料；
S2：准备柔性衬底；
S3：利用金属电极将若干个基于头发上的紫外光敏感异质结材料互相连接，并固定在柔性衬底，以形成所述基于头发上的柔性图像传感器。
5.根据权利要求4所述的基于头发上的柔性图像传感器的制造方法，其特征在于，步骤S3中，基于头发上的紫外光敏感异质结材料中任意一个异质结材料的AZO端连接另一个异质结材料的PEDOT: PSS端，AZO为掺杂Al的ZnO，PEDOT: PSS为聚乙撑二氧噻吩-聚(苯乙烯磺酸盐)。
6.根据权利要求4所述的基于头发上的柔性图像传感器的制造方法，其特征在于，步骤S3中，金属电极分别沉积在单个基于头发上的紫外光敏感异质结材料的两端：掺杂Al的ZnO上和聚乙撑二氧噻吩-聚(苯乙烯磺酸盐)上，并且将两个首尾相连的基于头发上的紫外光敏感异质结材料连接起来，利用金属与基底的附着力，将所有基于头发上的紫外光敏感异质结材料固定在柔性衬底上。
7.根据权利要求4所述的基于头发上的柔性图像传感器的制造方法，其特征在于，步骤S3中，若干个是指基于头发上的紫外光敏感异质结材料的数量为4个~108个。
8.根据权利要求4所述的基于头发上的柔性图像传感器的制造方法，其特征在于，步骤S3中，金属电极的沉积方法为：利用Ag胶直接沉积，或利用电子束蒸发或热蒸发，或磁控溅射沉积。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
