[发明专利]基于探针式空芯光纤耦合回音壁模微腔器件及其制造方法在审
| 申请号： | 201810882279.9 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN109141489A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张小贝;杨磊;王嘉威;白化文;杨勇;陈振宜;王廷云 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G02B6/255 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空芯光纤 耦合 标准单模光纤 回音壁模 微腔器件 探针 反射式器件 回音壁模式 机械鲁棒性 激光器系统 光纤传感 光纤器件 基本单元 能量耦合 输出耦合 微纳光纤 锥形区域 耦合结构 耦合效率 光纤锥 过渡区 熔接机 微球形 光场 减小 熔接 熔锥 微腔 锥角 嵌入 制造 | ||
1.一种基于探针式空芯光纤耦合回音壁模微腔器件，其特征在于，包括标准单模光纤（1）、微纳光纤熔锥（2）、空芯光纤（3）、微球型回音壁模式微腔（4）；所述的微纳光纤熔锥（2）是通过把标准单模光纤（1）与空芯光纤（3）熔接并且熔融拉锥制成的，连接于标准单模光纤（1）和空芯光纤（3）之间；所述微球型回音壁模式微腔（4）置于空芯光纤（3）中；所述微纳光纤熔锥（2）提高了标准单模光纤（1）与空芯光纤（3）的耦合强度，所述空芯光纤（3）与微球型回音壁模式微腔（4）的耦合方式提高了回音壁模式耦合器件的集成性，稳定性，重复性。
2.一种基于探针式空芯光纤耦合回音壁模微腔器件的制造方法，用于制作根据权利要求1所述的基于探针式空芯光纤耦合回音壁模微腔器件，其特征在于，操作步骤如下：
1）空芯光纤（3）制备：采用改良化学气相沉积工艺制备与标准单模光纤（1）折射率及尺寸匹配的预制棒，通过拉丝塔拉制空芯光纤（3），空芯光纤（3）外径为125μm，内径与微球型回音壁模式微腔（4）的微球腔的直径相当；
2）采用光纤熔接机制备微纳光纤熔锥（2），将标准单模光纤（1）与步骤1）制备的空芯光纤（3）进行熔接，然后继续使用光纤熔接机对熔接部分进行融熔拉锥，得到微纳光纤熔锥（2）；
3）微纳光纤熔锥（2）在显微镜下通过静电吸附合适尺寸的无源微球或有源微球，通过精密三维调整架将微球置入空芯光纤（3）内壁，形成微球型回音壁模式微腔（4）。
3.根据权利要求2所述的基于探针式空芯光纤耦合回音壁模微腔器件的制造方法，其特征在于，所述步骤3）中的微球为铒镱共掺微球。
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