[发明专利]一种刻蚀液回收利用的装置

说明书

本发明提供一种刻蚀液回收利用的装置，属于刻蚀工艺槽中废液的二次利用技术领域。刻蚀刻蚀液回收利用的装置，包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽。刻蚀工艺槽与刻蚀液供应储存箱连通，刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱和纯水供应储存箱均与制绒工艺槽连通。通过此刻蚀液回收利用的装置的设置，能够将刻蚀工艺槽中的废液进行二次利用，用来进行制绒工艺的生产，避免酸溶液的浪费，也能够更加环保。

技术领域

本发明涉及刻蚀工艺槽中废液的二次利用技术领域，具体而言，涉及一种刻蚀液回收利用的装置。

背景技术

多晶硅电池的制造过程中，其中电池片制作工艺中刻蚀清洗设备的工艺槽的药液主要有HF、HNO₃、H₂[SiF₆]，刻蚀工艺完成以后，多数药液被当成废液进行处理排放，药液利用率较小，增加了电池片的生产成本，且对环境污染严重。

发明内容

本发明的目的在于提供一种刻蚀液回收利用的装置，能够对产生的刻蚀液进行利用，避免资料的浪费，更加环保。

本发明是采用以下技术方案实现的：

一种刻蚀液回收利用的装置，包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽；

刻蚀工艺槽与刻蚀液供应储存箱连通，刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱和纯水供应储存箱均与制绒工艺槽连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括刻蚀液储液槽，刻蚀工艺槽的上端上连接第一溢流管，第一溢流管的远离刻蚀工艺槽的一端连通刻蚀液储液槽，刻蚀工艺槽的下端连接第一管路，第一管路的远离刻蚀工艺槽的一端连通刻蚀液储液槽，第一管路上设置有第一气动隔膜阀，刻蚀液储液槽与刻蚀液供应储存箱连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括第一排液槽，第一溢流管和第一管路均通过第一排液管与第一排液槽连通，第一溢流管和第一管路均通过第一进液管与刻蚀液储液槽连通，第一进液管上设置有第一手动球阀，第一排液管上设置有第二手动球阀。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液储液槽的上端与第一排液槽通过第二溢流管连通，刻蚀液储液槽的下端与第一排液槽通过第二排液管连通，第二排液管上设置有第二气动隔膜阀。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液储液槽的下端通过抽液管与刻蚀液供应储存箱连通，抽液管上设置有抽液泵。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液供应储存箱通过第二进液管与制绒工艺槽连通，HF供应储存箱通过第三进液管与制绒工艺槽连通，纯水供应储存箱通过第四进液管与制绒工艺槽连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述第二进液管上设置有第三气动隔膜阀，第三进液管上设置有第四气动隔膜阀，第四进液管上设置有第五气动隔膜阀。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括浓度测试仪，浓度测试仪设置于制绒工艺槽。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述装置还包括第二排液槽，第二排液槽与刻蚀液供应储存箱和制绒工艺槽均连通。

进一步地，本发明较佳的实施例中，上述刻蚀液供应储存箱通过第三排液管与第二排液槽连通，制绒工艺槽的上端通过第三溢流管与第二排液槽连通，制绒工艺槽的下端通过第四排液管与第二排液槽连通。

与现有技术相比，本发明的较佳实施例提供的刻蚀液回收利用的装置的有益效果包括：