[发明专利]一种可防御共振的MEMS传感器及其防御共振方法

权利要求书

1.一种可防御共振的MEMS传感器，其特征在于：包括可变电容、变节距弹性元件、量化模块和电流补偿模块，还包括分别与所述变节距弹性元件的两端电性连接的弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚，所述弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚之间接收刚性控制电流，以改变所述变节距弹性元件的刚性；

所述电流补偿模块的输入端接收所述量化模块的量化值，并进行电流补偿后输出，所称补偿是根据所述变节距弹性元件所接收的刚性控制电流的电流值进行对应的补偿，输出最终的补偿后的校正值。

2.根据权利要求1所述的可防御共振的MEMS传感器，其特征在于：所述补偿是根据刚性控制电流的电流大小查找到对应的补偿值，根据对应补偿值进行补偿。

3.根据权利要求2所述的可防御共振的MEMS传感器，其特征在于：所述电流补偿模块中存有一补偿表，所述补偿表中包括两栏，分别为弹性元件电流大小栏和补偿值栏。

4.根据权利要求3所述的可防御共振的MEMS传感器，其特征在于：所述补偿表中的两栏中的每一项均一一对应。

5.一种MEMS传感器防御共振方法，基于权利要求1所述的可防御共振的MEMS传感器，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：输出一刚性控制电流的电流值至所述变节距弹性元件的两端电性连接的弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚；

步骤二：量化模块采集可变电容输出的电容值，并将该电容值转换为量化值后输出给电流补偿模块，电流补偿模块根据所述变节距弹性元件的输入引脚和弹性元件输出引脚之间输入的所述刚性控制电流的电流值进行补偿，得到校正值，所述电流补偿模块将所述校正值作为结果输出。

6.根据权利要求5所述的MEMS传感器防御共振方法，其特征在于：所述补偿是根据刚性控制电流的电流大小查找到对应的补偿值，根据对应补偿值进行补偿。

7.根据权利要求6所述的MEMS传感器防御共振方法，其特征在于：所述电流补偿模块中存有一补偿表，所述补偿表中包括两栏，分别为弹性元件电流大小栏和补偿值栏，所述补偿是对根据刚性控制电流的电流大小查找补偿表中对应的补偿值，根据对应补偿值进行补偿。

8.根据权利要求7所述的MEMS传感器防御共振方法，其特征在于：步骤一中所述输出一刚性控制电流的电流值为随机选择补偿表中弹性元件电流大小栏中的任一项作为刚性控制电流的电流值进行输出。

9.根据权利要求7所述的MEMS传感器防御共振方法，其特征在于：所述补偿表中的两栏中的每一项均一一对应。

10.一种补偿值计算方法，基于权利要求1-4中任一所述的可防御共振的MEMS传感器，其特征在于：包括：在相同的外界条件下，计算所述可防御共振的MEMS传感器未施加刚性控制电流时和施加刚性控制电流时的输出的差值，设定该差值为该刚性控制电流的电流大小对应的补偿值。