[发明专利]滤光片及包含该滤光片的红外图像传感系统

权利要求书

1.一种滤光片，包括玻璃基板(1)和镀制在所述玻璃基板相对两个表面上的IR膜层(2)和AR膜层(3)，其特征在于，

所述IR膜层(2)包括第一折射率材料层、第二折射率材料层和第三折射率材料层，所述第三折射率材料层的折射率大于所述第一折射率材料层折射率，所述第二折射率材料层的折射率大于所述第三折射率材料层的折射率。

2.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述AR膜层(3)包括第一折射率材料层和第二折射率材料层或者包括第一折射率材料层、第二折射率材料层和第三折射率材料层。

3.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，沿远离所述玻璃基板(1)的方向，所述IR膜层(2)的最外层和所述AR膜层(3)的最外层均为第一折射率材料层。

4.根据权利要求3所述的滤光片，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(1)的方向，所述IR膜层(2)的结构依次为M、(LH)*n、L，其中M表示第三折射率材料层、L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*n表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置n次，n为大于等于1的整数。

5.根据权利要求3所述的滤光片，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(1)的方向，所述IR膜层(2)的结构依次为(LH)*s、L、M、(LH)*p、L，其中M表示第三折射率材料层、L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*s表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置s次，s为大于等于0的整数，(LH)*p表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置p次，p为大于等于1的整数。

6.根据权利要求2所述的滤光片，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(1)的方向，所述AR膜层(3)的结构依次为(LH)*q、L，其中，L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*q表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置q次，q为大于等于1的整数。

7.根据权利要求2所述的滤光片，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(1)的方向，所述AR膜层(3)的结构依次为M、(LH)*k、L，其中M表示第三折射率材料层、L表示低折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*k表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置k次，k为大于等于1的整数。

8.根据权利要求2所述的滤光片，其特征在于，沿着远离所述玻璃基板(1)的方向，所述AR膜层(3)的结构依次为(LH)*i、L、M、(LH)*f、L，其中M表示第三折射率材料层、L表示第一折射率材料层、H表示第二折射率材料层，(LH)*i表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置i次，i为大于等于0的整数，(LH)*f表示第一折射率材料层和第二折射率材料层交替设置f次，f为大于等于1的整数。

9.根据权利要求3-8任一项所述的滤光片，其特征在于，所述第二折射率材料层物理厚度与所述第一折射率材料层物理厚度满足关系式：0.05≤D_L/D_H≤20；所述第三折射率材料层物理厚度与所述第二折射率材料层物理厚度满足关系式：0.02≤D_M/D_H≤50。

10.根据权利要求1所述的滤光片，其特征在于，所述IR膜层(2)第二折射率材料层为氢化硅层，在800-1200nm波长范围内的折射率大于3，消光系数小于0.002；

所述第二折射率材料层在850nm处折射率大于3.6，在940nm处折射率大于3.55。

11.根据权利要求10所述的滤光片，其特征在于，所述氢化硅层为溅射反应镀制材料层，溅射温度范围为80-300摄氏度、氢气流量为10-50sccm、溅射速率为0.1nm/s-1nm/s。