[发明专利]一种干式真空泵的清洁装置

说明书

本发明公开一种干式真空泵的清洁装置，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及清洁气体供给装置；主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及副排气管道，主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。

技术领域

本发明涉及一种干式真空泵，具体涉及一种干式真空泵的清洁装置。

背景技术

干式真空泵是一种能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵；由于泵腔内没有其他工作介质，减少工艺污染，并且具有一定的耐腐蚀性，因此，干式真空泵在半导体以及化工等行业中是经常用到的一种高端真空泵；而这种真空泵在我国目前主要以进口为主，价格昂贵，维修的成本高。

由于干式真空泵抽气的气体中会有粉尘以及其他颗粒，同时，干式真空泵工作时，会有大量的气体吹扫，并且干式真空泵内具有一定的温度，因此，如果真空泵停止工作，泵内的温度就会逐渐下降，导致泵内残留的粉尘以及其他颗粒凝结在真空泵螺杆上，停止时间过长就会妨碍螺杆转动，最终造成螺杆卡死；而为了不让螺杆卡死，常用的做法是保持真空泵一直运行，保证干式真空泵内的温度不下降，从而使得螺杆能够正常转动，但是这样会直接导致制氮、加热以及冷却等辅助设备也要不停地运行，造成其他设备的性能下降，寿命缩短；同时，管道、阀门及辅助设备保养时干式真空泵必须停机，而经过一段时间后，干式真空泵的螺杆同样会存在被卡死的可能。另一种常用的做法就是干式真空泵停止后手动摇动真空泵的螺杆，使得螺杆保持转动的状态，但此方法只能短时间内保证螺杆的转动，无法使得干式真空泵的螺杆一直连续转动，同样会出现螺杆卡死的现象，不仅影响到设备的寿命，也浪费人力、物力，提高企业生产成本，影响企业经济效益。由此可见，现有的方法都无法很好解决干式真空泵的螺杆卡死的问题。

发明内容

本发明目的在于克服现有技术的不足，提供一种干式真空泵的清洁装置，该装置能够在干式真空泵停止抽气时将泵内的螺杆清洗干净，确保螺杆不被卡死，从而降低能耗和成本。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种干式真空泵的清洁装置，其特征在于，包括与干式真空泵的进气口连接的主管道、与主管道连接的分管道以及用于提供清洁气体的清洁气体供给装置；其中，所述主管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时所抽气体进入泵内的第一开关阀；所述分管道与清洁气体供给装置连接，且分管道上设有用于控制清洁气体进入泵内的第二开关阀；所述干式真空泵的排气口处设有主排气管道以及连接在主排气管道上的副排气管道，所述主排气管道上设有用于控制干式真空泵正常作业时气体排出的第三开关阀，所述副排气管道上设有用于控制干式真空泵进行泵内清洁时气体排出的第四开关阀。

上述干式真空泵的清洁装置的工作原理是：

当干式真空泵停止作业后，先关闭第一开关阀和第三开关阀，然后打开第二开关阀以及第四开关阀，并通过干式真空泵的电机(或附加驱动机构或手动)驱动干式真空泵的螺杆转动，从而将清洁气体供给装置中的清洁气体抽进泵内；清洁气体进入泵内后，将泵内残余的杂质气体以及已经凝结的粉尘和颗粒等物质带走，最后经过干式真空泵的排气口后从副排气管道排出；经过一段时间的清洁气体对泵内进行清洁后，使得泵内残余的杂质全部带出泵外，泵内不会再有颗粒凝结，从而确保干式真空泵的螺杆就不会被卡死。通过清洁气体将泵内剩余的气体以及杂质带走，从根源上解决螺杆卡死的问题，从而确保干式真空泵停机后能够正常重新启动，延长其工作寿命，减少能耗。