[发明专利]一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量的系统及方法在审

专利信息
申请号: 201810886092.6 申请日: 2018-08-06
公开(公告)号: CN108955537A 公开(公告)日: 2018-12-07
发明(设计)人: 宋兴;张学敏;杨建峰 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 陈广民
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 经纬仪 高低点 离轴抛物面反射镜 平面反射镜 标定 激光干涉仪 离轴反射镜 光轴 经纬 光学检测 同一直线 连线 装调 测量
【权利要求书】:

1.一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量的系统,其特征在于:包括平台(1)、激光干涉仪(2)、平面反射镜(3)、第一经纬仪(4)、第二经纬仪(5)和第三经纬仪(6);激光干涉仪(2)、平面反射镜(3)、第一经纬仪(4)、第二经纬仪(5)和第三经纬仪(6)均设置在平台(1)上;

所述平台(1)水平放置;

所述第一经纬仪(4)和第三经纬仪(6)位于平台(1)的两侧,第一经纬仪(4)的光轴和第三经纬仪(6)的光轴均与大地水平,且二者处于同一直线上;

平面反射镜(3)、第二经纬仪(5)和待测的离轴抛物面反射镜(7)均位于平台(1)的中部,且均位于第一经纬仪(4)和第二经纬仪(5)连线的一侧,待测的离轴抛物面反射镜(7)位于平面反射镜的右侧,第二经纬仪(5)位于待测的离轴抛物面反射镜(7)之后;平面反射镜(3)的光轴与第一经纬仪(4)的光轴平行;第二经纬仪(5)的光轴与第一经纬仪(4)的光轴处于同一水平面;离轴抛物面反射镜(7)的中心到第一经纬仪(4)的光轴的距离等于离轴抛物面反射镜(7)离轴量,且离轴抛物面反射镜(7)的光轴与第二经纬仪(5)的光轴平行;

激光干涉仪(2)位于平台(1)的中部,且位于第一经纬仪(4)和第二经纬仪(5)连线的另一侧;

激光干涉仪(2)出射的平行光入射在离轴抛物面反射镜(7)的中心后,反射到平面反射镜(3)上,再经平面反射镜(3)反射后沿原路返回到激光干涉仪(2)。

2.根据权利要求1所述的一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量的系统,其特征在于:所述平台(1)为光学隔振平台。

3.根据权利要求1所述的一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量的系统,其特征在于:所述激光干涉仪(2)为4d动态激光干涉仪。

4.一种可实现离轴反射镜高低点位置精确测量方法,其特征在于,包括以下步骤:

1)设定基准光轴(8)

第一经纬仪(4)与第三经纬仪(6)分别调整至与大地水平;调整第一经纬仪(4)与第三经纬仪(6)的相对位置,使得相互自准直穿心,第一经纬仪(4)与第三经纬仪(6)所确定的光轴即为基准光轴(8);

2)确定平面反射镜(3)的姿态

调整平面反射镜(3)的姿态,使平面反射镜(3)的光轴与基准光轴(8)平行;

3)确定激光干涉仪(2)的姿态

通过细孔接收板确定激光干涉仪(2)的焦点位置,通过第三经纬仪(6)定位细孔接收板的中心孔位置,通过第一经纬仪(4)定位激光干涉仪(2)的焦点在基准光轴(8)上的位置,调整激光干涉仪(2)使其焦点位于第三经纬仪(6)视场中心,此时激光干涉仪(2)的焦点位于基准光轴(8)上;

4)初步确定离轴抛物面反射镜(7)的位置

将离轴抛物面反射镜(7)竖直放置于平台(1)上,其高点为远光轴点,低点为近光轴点;调整离轴抛物面反射镜(7)的位置,使得激光干涉仪(2)出射的平行光入射在离轴抛物面反射镜(7)的中心,且离轴抛物面反射镜(7)的中心到基准光轴(8)的距离为离轴抛物面反射镜(7)离轴量;调节离轴抛物面反射镜(7)的方位使得其反射的激光干涉仪(2)的平行光与激光干涉仪(2)的出射光线重合,

5)精确确定离轴抛物面反射镜(7)的高低点位置

用激光干涉仪(2)接收离轴抛物面反射镜(7)面形的干涉条纹检测结果;通过第二经纬仪(5)监视离轴抛物面反射镜(7)的背部自准像;通过第二经纬仪(5)自准确定好离轴抛物面反射镜(7)的光轴与大地水平;通过调节离轴抛物面反射镜(7)的方位,使离轴抛物面反射镜焦点(9)位于基准平面内并且在基准光轴(8)上,通过激光水平仪在离轴抛物面反射镜(7)弧矢面光轴线处扫出一个水平面,即可标定出离轴抛物面反射镜(7)的高低点位置。

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