[发明专利]一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统和方法

权利要求书

1.一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统，其特征在于：包括水平台(1)、载物台(2)、干涉仪胶合底座(3)、激光器(4)、十字分划板(5)、平行光管(6)、第一经纬仪(7)、第二经纬仪(8)、第一自准光管(9)、第二自准光管(10)、成像镜头(11)、成像相机(12)、计算机(15)；

载物台(2)、激光器(4)、十字分划板(5)、平行光管(6)、第一经纬仪(7)、第二经纬仪(8)、第一自准光管(9)、第二自准光管(10)、成像镜头(11)和成像相机(12)均设置在水平台(1)上，干涉仪胶合底座(3)放置在载物台(2)上；激光器(4)、平行光管(6)和第二经纬仪(8)依次设置，且三者的光轴均同心；十字分划板(5)位于平行光管(6)的焦面位置，第一经纬仪(7)与成像镜头(11)、成像相机(12)的光轴均同心；第一经纬仪(7)的光轴与第二经纬仪(8)的光轴夹角为90°；

第一自准光管(9)位于第一经纬仪(7)靠近平行光管(6)的一侧，第一自准光管(9)的光轴与第一经纬仪(7)的光轴相交，夹角为22.5°；

第二自准光管(10)位于第二经纬仪(8)靠近成像镜头(11)一侧，第二自准光管(10)的光轴与第二经纬仪(8)的光轴相交，夹角为22.5°；

成像相机(12)与计算机(15)相连。

2.一种实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的方法，基于权利要求1所述的实现Sagnac实体干涉仪高精度胶合的系统，其特征在于，包括以下步骤：

1)装调主平面的建立

1.1)将载物台(2)放置在水平台(1)上，再将干涉仪胶合底座(3)放置在载物台(2)上，用电子水平仪对干涉仪胶合底座(3)进行调平，调平差小于2″；

1.2)将第一经纬仪(7)、第二经纬仪(8)调整至水平，将二者互瞄对准后各转45度角，此时第一经纬仪(7)的光轴与第二经纬仪(8)的光轴呈90度夹角，为Sagnac实体干涉仪胶合标定出一个大地水平的基准平面；

1.3)通过第二经纬仪(8)标定平行光管(6)岀射十字分划板(5)是否水平铅垂，标校后平行光管(6)作为基准光管，在Sagnac实体干涉仪胶合过程中，基准光管状态不得发生变化；1.4)用第一经纬仪(7)标定成像相机(12)行像元与大地水平；用第一经纬仪(7)垂直扫描的方式标定相机列像元；

2)自准监测基准建立

2.1)在干涉仪胶合底座(3)上放置第一半五角棱镜(13)，在平行光管(6)焦面处放置高斯目镜，观察第一半五角棱镜(13)入射面自准像与平行光管(6)焦面位置十字分划板(5)是否重合，若未重合，调整第一半五角棱镜(13)的方位，使得第一半五角棱镜(13)入射面自准像与平行光管(6)焦面位置十字分划板(5)重合，调整完毕后将第一半五角棱镜(13)固定好；

2.2)使用第一自准光管(9)监测第一半五角棱镜(13)的反射面，第一自准光管(9)与第一半五角棱镜(13)反射面自准直，此时读数清零，作为第一半五角棱镜(13)的初始状态；

3)干涉仪点胶

3.1)清洁第一半五角棱镜(13)与第二半五角棱镜(14)的胶合面；

3.2)第一半五角棱镜(13)与第二半五角棱镜(14)胶合面上均匀滴胶；

3.3)研胶时用微力转动保证胶合面胶层均匀、无气泡，满足要求后清擦多余光敏胶；4)剪切量及条纹倾斜度调整

4.1)将抹胶后的第一半五角棱镜(13)与第二半五角棱镜(14)放置在干涉仪胶合底座(3)上，调整干涉仪胶合底座(3)使得高斯目镜观察入射面自准像与平行光管(6)焦面位置的十字分划板(5)重合，且第二自准光管(10)与第一半五角棱镜(13)反射面自准直，自准读数应与步骤2.2)中的读数相同；

4.2)用第二自准光管(10)监视第二半五角棱镜(14)的反射面，使第二自准光管(10)与大地水平且与第二半五角棱镜(14)反射面自准直，此时读数清零，数值记录备查；

4.3)在平行光管(6)后方放置激光器(4)，激光器(4)照亮平行光管(6)焦面处的十字分划板(5)，无穷远的十字分划板目标经过Sagnac干涉仪后发生剪切干涉，产生干涉条纹，干涉条纹通过成像镜头(11)以及成像相机(12)采集到计算机(15)中，计算机(15)计算出此时的剪切量大小以及条纹的倾斜度，如果剪切量未满足设计要求，则调整第二半五角棱镜(14)相对第一半五角棱镜(13)在剪切方向的平移实现，调整过程中通过第二自准光管(10)监视第二半五角棱镜(14)的反射面，保证剪切量调整过程不引起反射面的旋转或倾斜；

4.4)剪切量及倾斜度均满足设计要求后，用紫外灯烘烤30分钟进行固化；

4.5)Sagnac实体干涉仪胶合完成。