[发明专利]一种用于晶圆防破片报警系统

权利要求书

1.一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：包括主控单元、供电电路、检测电路、蜂鸣器报警电路；

主控单元，包括第一控制芯片STC12C2052AD；

供电电路，其输入端接外部稳压源经转换接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端，并给蜂鸣器报警电路供电；

检测电路，包括用于安装感光探头的感光探头端子XS1，感光探头端子XS1连接第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口向其传输感光探头的检测信号；

蜂鸣器报警电路，包括第一开关电路和蜂鸣器，第一开关电路包括开关管Q1，开关管Q1的基极接入第一控制芯片STC12C2052AD的ADC端，集电极接入蜂鸣器负极，蜂鸣器正极与供电电路输出端连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：所述供电电路包括两个稳压芯片7812、7805，电阻R2，二极管D1，电容C5、C4，外部稳压源依次通过电阻R2、二极管D1接入稳压芯片7812的输入端，稳压芯片7812输出端接入稳压芯片7805输入端，稳压芯片7805的输出端接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：报警系统还包括探头工作指示灯电路，所述探头工作指示灯电路包括发光二极管D3，电阻R6，发光二极管D3的正极接稳压芯片7805的输出端，发光二极管D3的负极通过电阻R6接入第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口。

4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：报警系统还包括呼叫器模块和呼叫器连接电路，呼叫器模块用于通知工作人员出现偏出晶圆的中测台，第一控制芯片STC12C2052AD与呼叫器模块通过呼叫器连接电路连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：所述呼叫器模块包括第二控制芯片STC12C2052AD、无线发送电路；

第二控制芯片STC12C2052AD通过呼叫器连接电路与第一控制芯片STC12C2052AD连接，用于接收第一控制芯片STC12C2052AD的晶圆偏出报警信号；

无线发送电路与第二控制芯片STC12C2052AD连接，并将呼叫信号发送至呼叫器。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：所述呼叫器连接电路包括继电器K1，继电器K1线圈一端接第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端，另一端接第一控制芯片STC12C2052AD的ADC2端，继电器K1的动触点接稳压芯片7812的输出端；

继电器K1的常闭触点与呼叫器模块连接，用于给呼叫器模块提供12V直流电压；

第一控制芯片STC12C2052AD与第二控制芯片STC12C2052AD用于向第二控制芯片STC12C2052AD传送时钟信号。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：所述稳压芯片7812的输入端连接电源工作指示电路，电源工作指示电路包括电阻R1和发光二极管D2。

8.根据权利要求6所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：所述第一控制芯片STC12C2052AD的ADC2端与继电器K1线圈之间连接有第二开关电路，所述第二开关电路包括电阻R5，开关管Q2。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶圆防破片报警系统，其特征在于：所述第二控制芯片STC12C2052AD的ADC6端设置成开始端，第二控制芯片STC12C2052AD的ADC7端设置成停止端，第二控制芯片STC12C2052AD的ADC6端和ADC7端均连接工作状态指示电路，工作状态指示电路包括电阻R14、R15，发光二极管D6。