[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜体声波谐振器，包括：

上下叠层的第一基板和第二基板，分别包含相对的第一空腔(115)和第二空腔(215)，形成有相互重叠的空腔重叠区(15)；

依次置于所述第一基板和第二基板之间的第一电极片体(211)和第二电极片体(212)，在所述空腔重叠区(15)形成有电极重叠区(11)；

置于所述第一空腔(115)和第二空腔(215)之间包含于所述电极重叠区(11)之内的压电感应震荡片(221)；

其中，在空腔重叠区(15)之内而电极重叠区(11)之外，第一电极片体(211)和第二电极片体(212)分别包含第一震动缓冲条(2111)和第二震动缓冲条(2121)，所述第一震动缓冲条(115)和第二震动缓冲条(125)均具有导电性，并分别降低沿着第一电极片体(211)和第二电极片体(212)传播的水平体振动波的反弹刚度。

2.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一震动缓冲条(2111)或第二震动缓冲条(2121)分别由第一电极片体(211)或第二电极片体(212)构成在垂直方向局部垂直隆起的背脊条。

3.如权利要求2所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述在垂直方向局部垂直隆起的背脊条由一个个切分开的垂直隆起微条组成。

4.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，每个所述垂直隆起微条的宽度为0.01～10μm，高度为0.1～10μm，相邻所述垂直隆起微条的间距为0.01～10μm。

5.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述电极重叠区(11)为一不包含相互平行对边的多边形。

6.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一震动缓冲条与所述第二电极片体不重叠，所述第二震动缓冲条与所述第一电极片体不重叠。

7.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电感应震荡片(221)的材料包括氧化物、氮化物、碳化物中的至少一种。

8.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电感应震荡片(221)的材料包括压电晶体或压电陶瓷中的至少一种。

9.如权利要求8所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电晶体材质包括石英、镓酸锂、锗酸锂、锗酸钛、铌酸锂、钽酸锂、氮化铝、氧化锌和铅锌榍石中的至少一种。

10.如权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一电极片体(211)和所述第二电极片体(212)的材质包括金属铝、铜、镍、钨、钛、钼、银、金、铂金及其合金中的至少一种。