[发明专利]双面连续镀膜的真空蒸镀装置

说明书

本发明公开了一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置，其包括真空腔体、设置在真空腔体内的转向辊机构和两组蒸镀机构，所述两组蒸镀机构上下设置，所述转向辊机构设置两组蒸镀机构的一侧，待蒸镀的薄膜沿一组所述蒸镀机构进入经所述转向辊机构后沿另一组所述蒸镀机构用于连续对薄膜的上下两面进行真空蒸镀，这样，本发明通过设置两组蒸镀机构，以及两组蒸镀机构之间设置转向辊机构，能够实现单次工作同时完成在薄膜的两面蒸镀导电金属层，本发明获得的薄膜膜面外观良好，无褶皱和镀空线，并且提高生产效率。

技术领域

本发明属于真空蒸镀技术领域，具体涉及一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置。

背景技术

目前，柔性导电材料在电子、屏蔽、电容、汽车、新能源、航天行业得到广泛应用，其主要发展趋势为材料越来越薄、导电性能要求越来越高，材料的厚度由原来的10～50μm发展到2～16μm，称为超薄柔性导电材料，电子产品对导电材料的导电性能要求的不断提高，就要求膜面金属镀层越来越厚，同时镀层品质越来越高。

随着柔性导电材料性能要求的不断提高，由于导电材料的厚度较薄，在生产超薄柔性导电材料时，容易出现薄膜起皱、镀空线、表面镀层外观不良、针孔等问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的旨在提供一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置。

本发明的技术方案是这样实现的：

本发明实施例提供一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置，其包括真空腔体、设置在真空腔体内的转向辊机构和两组蒸镀机构，所述两组蒸镀机构上下设置，所述转向辊机构设置两组蒸镀机构的一侧，待蒸镀的薄膜沿一组所述蒸镀机构进入经所述转向辊机构后沿另一组所述蒸镀机构用于连续对薄膜的上下两面进行真空蒸镀。

上述方案中，所述蒸镀机构包括卷绕组件、冷却组件和蒸发组件，所述卷绕组件和冷却组件依次排列，所述蒸发组件元设置在冷却组件的底部，所述转向辊机构设置两组蒸镀机构的卷绕组件的一侧；所述卷绕组件用于收卷、放卷以及传送薄膜，所述冷却组件用于在蒸镀过程中降低薄膜表面的温度，所述蒸发组件用于在薄膜表面蒸镀金属镀层。

上述方案中，所述卷绕组件包括收放卷、摆架单元，所述收放卷用于收卷或者放卷待蒸镀的薄膜；所述摆架单元包括架体、跟随辊、展平辊和引导辊，所述跟随辊、展平辊和引导辊依次设置在架体上，所述跟随辊靠近收放卷设置，所述引导辊靠近冷却单元设置；所述架体绕引导棍所在的中心转动用于带动跟随辊与收放卷上的薄膜的膜面最外层保持固定的距离。

上述方案中，所述跟随辊、展平辊和引导辊均设置至少一个

上述方案中，所述冷却组件包括冷却主鼓、前展平辊、后展平辊，所述前展平辊和后展平辊分别设置在冷却主鼓的两侧。

上述方案中，所述展平辊、前展平辊和后展平辊采用弯辊、胶条辊、多段辊或者开幅辊。

上述方案中，所述展平辊、前展平辊和后展平辊采用光面过辊或者毛面过辊。

上述方案中，所述蒸发组件采用电阻式蒸发、中频感应坩埚蒸发或电子束蒸发。

上述方案中，所述转向辊机构包括第一过辊、第二过辊、第三过辊，所述第一过辊和第三过辊靠近分别设置在两组蒸镀机构的冷却组件的一侧，所述第二过辊设置在第一过辊和第三过辊之间。

上述方案中，其还包括第一观察视窗和第二观察视窗，所述第一观察视窗和第二观察视窗设置在真空腔体上分别用于观察两组蒸镀机构的工作状态。