[发明专利]透明电极层叠体及其制造方法在审
申请号: | 201810897960.0 | 申请日: | 2018-08-08 |
公开(公告)号: | CN109407876A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 柳汉太;尹亿根;鲁圣辰;琴同基 | 申请(专利权)人: | 东友精细化工有限公司 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 杨黎峰;钟锦舜 |
地址: | 韩国全*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明氧化物电极 透明电极 层叠体 触摸传感器 光学特性 颜色特性 制造 层叠体整体 基材层 透射率 期望 色度 | ||
1.一种透明电极层叠体的制造方法,包括:在基材层上形成规定厚度的第一透明氧化物电极层的阶段,以及在所述第一透明氧化物电极层上形成第二透明氧化物电极层的阶段;所述第二透明氧化物电极层的形成阶段包括通过对所述第二透明氧化物电极层的厚度进行调节从而调节层叠体整体的透射率以及色度(b*)。
2.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中所述第一透明氧化物电极层包含铟锌氧化物(IZO)而形成,所述第二透明氧化物电极层包含铟锡氧化物(ITO)而形成。
3.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中将所述第二透明氧化物电极层的厚度调节至120~150nm的范围,将所述层叠体整体的色度(b*)调节至5以下。
4.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中将所述第二透明氧化物电极层的厚度调节至120~140nm的范围,将所述层叠体整体的色度(b*)调节至0.9~4.7的范围。
5.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中所述第一透明氧化物电极层将厚度固定在10~20nm的范围内。
6.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中所述层叠体整体的透射率调节至87%以上。
7.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中在形成所述第一透明氧化物电极层前,进一步包括在所述基材层上形成折射率整合层的阶段。
8.根据权利要求7中所述的透明电极层叠体的制造方法,其中所述形成折射率整合层的阶段包括依次形成折射率互相不同的第一折射率整合层以及第二折射率整合层。
9.一种透明电极层叠体,包括:基材层、在所述基材层上层叠的包含铟锌氧化物(IZO)的第一透明氧化物电极层、和在所述第一透明氧化物电极层上层叠的包含铟锡氧化物(ITO)的第二透明氧化物电极层;所述第二透明氧化物电极层的厚度为120~150nm,层叠体整体的透射率为87%以上,色度(b*)为5以下。
10.根据权利要求9中所述的透明电极层叠体,其中,所述第二透明氧化物电极层的厚度为120~140nm,所述层叠体整体的色度(b*)为0.9~4.7。
11.根据权利要求9中所述的透明电极层叠体,其中,所述第一透明氧化物电极层的厚度为10~20nm。
12.根据权利要求1中所述的透明电极层叠体,进一步包括在所述基材层和所述第一透明氧化物电极层之间形成的折射率整合层。
13.根据权利要求12中所述的透明电极层叠体,其中,所述折射率整合层包括从所述基材层开始依次层叠的第一折射率整合层以及第二折射率整合层,所述第一折射率整合层具有大于所述第二折射率整合层的折射率。
14.一种触摸传感器,包括根据权利要求9~13的任一项中所述的透明电极层叠体。
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