[发明专利]一种空间分布可调的阵列集成式喷印方法

权利要求书

1.一种空间分布可调的阵列集成式喷印方法，其特征在于，其采用空间分布可调的阵列集成式喷印装置进行，该喷印装置包括箱体（14）、布置在箱体（14）内部呈阵列分布的喷头组以及用于调节喷头位置的移动组件，其中，所述喷头组中的喷头（8）包括由上至下依次设置的固定接头（8-4）、衔接头（8-3）、中间接头（8-2）和输出头（8-1），其中，所述输出头（8-1）设有与所述中间接头（8-2）下端外螺纹配合的内螺纹孔；所述中间接头（8-2）的内部开设有通孔以及与通孔导通的并与气体输入接口（8-11）相连的气体输入通道，所述通孔内安装有石英管（8-8），该石英管（8-8）从输出头（8-1）的下端穿出，其出口作为喷嘴（8-5），此外该石英管（8-8）内还插装有中空的高压电极（8-7），所述高压电极（8-7）与石英管（8-8）之间留有间隙，该高压电极（8-7）的中空部分则作为墨液通道；所述衔接头（8-3）固定在中间接头（8-2）的外部，并与所述固定接头（8-4）相连；每一喷头组对应设置有一移动组件，所述移动组件布置在箱体（14）的内部，其用于安装喷头并调节喷头的位置，此外，箱体（14）内还设置有位于喷头输出头（8-1）两侧的电极板（1）以及用于对从喷头喷印出的墨液进行固化的紫外灯（4）；所述移动组件包括支撑架（3）、位于支撑架上方的伸缩架以及用于带动伸缩架运动的电机，所述伸缩架包括彼此配合的第一伸缩臂（9）和第二伸缩臂（10），所述第一伸缩臂（9）和第二伸缩臂（10）均为由一系列通过连接螺栓（11）铰接在一起的伸缩杆构成，伸缩杆的中部设有放置喷头的孔，相邻两伸缩杆铰接处的下方设置有带滚珠（13）的滚珠球头（12），该滚珠（13）在喷头运动过程中在所述支撑架（3）表面滚动；所述高压电极（8-7）的上端与墨液输入接口（8-12）相连，该墨液输入接口（8-12）与对应的墨液腔（7）相连，所述墨液腔（7）包括供墨腔体（7-3）、用于封盖供墨腔体（7-3）的供墨腔盖（7-1）、以及设于供墨腔体（7-3）上的墨液入口（7-2）和墨液出口（7-4），所述供墨腔体（7-3）用于储存电流体喷印所需的墨液，所述墨液出口（7-4）通过导管与所述墨液输入接口（8-12）相连，供墨腔体（7-3）内的墨液依次经墨液出口（7-4）、导管、墨液输入接口（8-12）导入墨液通道中，以为喷头连续不断的输送墨液；所述喷印方法包括如下步骤：

S1在所述墨液腔中通入所需的喷印溶液，并为所述喷头组连接所需的电压；

S2打开所述喷头组对应的紫外灯，并为置于该喷头组旁侧的所述电极板连接所需的电压，该电压低于喷头组的电压；

S3使收集基板开始运动，同时喷头组开始喷印工作，以在收集基板上形成一层位于两电极板之间的平面状喷雾；

S4通过电机调节第一伸缩臂和第二伸缩臂，改变喷头间的距离，直到在收集基板上形成一层均匀的膜为止，如此在收集基板上形成一层厚度均匀的薄膜。

2.如权利要求1所述的空间分布可调的阵列集成式喷印方法，其特征在于，还包括如下步骤：

S5在不同的所述墨液腔中加入不同的墨液，在已固化的厚度均匀的薄膜上喷印另一种墨液，如此往复，以制备不同层数与材料的薄膜。

3.如权利要求1或2所述的空间分布可调的阵列集成式喷印方法，其特征在于，所述高压电极（8-7）的一端插入石英管（8-8）中，其与石英管（8-8）间的间隙作为气体通道（8-10），该高压电极（8-7）的另一端穿过中间接头（8-2）的上端，并与高压电源和墨液输入接口（8-12）相连，在高压电极（8-7）通电后，向墨液通道（8-9）通入墨液用于电流体喷印，或向气体通道（8-10）通入稀有气体用于产生等离子体，所述方法还包括如下步骤：

S6 向气体通道中通入稀有气体并为所述高压电极接上所需的电压，以在喷嘴处形成等离子体射流，利用阵列化的等离子体射流对薄膜进行图案化的刻蚀与改性。

4.如权利要求3所述的空间分布可调的阵列集成式喷印方法，其特征在于，还包括如下步骤：

S7在所刻蚀的沟道里填充所需的材料，以实现增减材一体化成形。