[发明专利]净化回收老化磷酸抛光液的方法

权利要求书

1.一种净化回收老化磷酸抛光液的方法，其特征在于包括：

检测抛光液中磷酸和硫酸的体积比的第一步骤，以及

对所述抛光液进行净化处理的第二步骤；

所述第二步骤包括：

若所述抛光液中磷酸与硫酸的体积比大于4:1，则先以水将抛光液中总酸的浓度稀释至8-11％，再将稀释后的抛光液精密过滤，之后将滤出液输入短床复合树脂技术系统中进行短床复合树脂技术处理，至滤液中的金属离子浓度达到设定值，其后将滤液输入低温常压多效蒸发系统进行浓缩处理，以及，在所述的短床复合树脂技术处理完成后，以质量浓度为15-20％的硫酸对饱和的短床复合树脂进行再生处理，并采用酸阻滞树脂将再生产生的清洗液再次再生处理，

若所述抛光液中磷酸和硫酸的体积比为2:1～3:1，则先将抛光液精密过滤，再以水将滤液将总酸的浓度稀释至8-11％，之后依次以纳滤膜、矮床酸阻滞系统对稀释后的滤液进行处理；

若所述抛光液中磷酸和硫酸的体积比为2:1～1:1，则先以水将抛光液的总酸浓度稀释35-40％，再将稀释后的抛光液精密过滤，之后使滤液经过扩散渗析膜而形成干净酸液和残液，其后使所述残液经过短床复合树脂技术系统形成干净酸液。

2.根据权利要求1所述的净化回收老化磷酸抛光液的方法，其特征在于包括：使稀释后的滤液经过纳滤膜系统而形成干净酸液和浓缩液，之后使所述浓缩液经过矮床酸阻滞系统而形成干净酸液和残液，将干净酸液收集汇聚，而通过短床复合树脂技术系统对所述残液进行回收处理以除去除金属离子。

3.根据权利要求1所述的净化回收老化磷酸抛光液的方法，其特征在于包括：将干净酸液收集汇聚后以低温常压多效蒸发系统进行浓缩处理；以及，将饱和的短床复合树脂以质量浓度为20％的硫酸进行清洗以回收金属离子，并采用酸阻滞树脂处理产生的清洗液以质量浓度为20％的硫酸对短床复合树脂技术系统内饱和的短床复合树脂进行再生，并采用酸阻滞树脂将再生产生的清洗液再次再生。

4.根据权利要求1所述的净化回收老化磷酸抛光液的方法，其特征在于，所述精密过滤包括：使抛光液或稀释后的抛光液依次经石英石过滤，活性炭吸附过滤和滤孔孔径为50um、20um、5um的滤芯组过滤。

5.根据权利要求1或3所述的净化回收老化磷酸抛光液的方法，其特征在于：所述低温常压多效蒸发系统的蒸发段采用60-75℃蒸发，冷凝室的末端采用超低温3-5℃除湿浓缩。