[发明专利]集成线性和角度MEMS加速度计

权利要求书

1.一种角度和线性加速度计，包括：

连接到基板的至少一个锚固件；

通过多个系链耦合到所述至少一个锚固件的检验质量块，其中所述多个系链中的系链相对于穿过所述检验质量块的中心并且基本上垂直于所述基板的平面对称；

第一电容器，被配置为响应于所述检验质量块的旋转运动而产生第一感测信号；

第二电容器，被配置为响应于所述检验质量块的线性运动而产生第二感测信号；以及

参考电容器，由设置在所述基板上的电极和刚性连接到所述基板的梁形成，所述参考电容器被配置为产生参考信号。

2.根据权利要求1所述的角度和线性加速度计，其中所述第一电容器包括连接到所述基板的固定电极和耦合到所述检验质量块的自由端梁。

3.根据权利要求2所述的角度和线性加速度计，其中所述检验质量块包括具有外边缘和内边缘的质量部分，并且其中所述自由端梁具有靠近所述内边缘的固定端和靠近所述检验质量块的中心的自由端。

4.根据权利要求3所述的角度和线性加速度计，其中所述固定电极是第一固定电极，并且所述自由端梁是第一自由端梁，以及其中所述第二电容器包括连接到所述基板的第二固定电极和耦合到所述检验质量块的第二自由端梁。

5.根据权利要求4所述的角度和线性加速度计，其中所述第二自由端梁具有固定端和自由端，所述第二自由端梁的固定端比所述第二自由端梁的自由端相对于所述检验质量块的中心更近。

6.根据权利要求1所述的角度和线性加速度计，其中所述第二电容器被配置为响应于所述检验质量块的平面外运动产生感测信号，和

其中，所述第二电容器由设置在所述基板上的电极和所述检验质量块的一部分形成。

7.根据权利要求6所述的角度和线性加速度计，还包括被配置为基于所述感测信号和所述参考信号确定所述角度和线性加速度计的平面外加速度的电路。

8.根据权利要求1所述的角度和线性加速度计，其中所述电极是第一电极，并且其中所述第一电容器被配置为响应于角加速度感测所述检验质量块的平面外运动，并且其中所述第一电容器由设置在所述基板上的第二电极和所述检验质量块的一部分形成。

9.一种用于感测角度和线性加速度的方法，该方法包括：

通过第一感测电容器，经过响应于围绕第一旋转轴的角度加速度产生第一感测信号，感测经由至少一个锚固件连接到基板的检验质量块的旋转运动，其中所述检验质量块通过至少一个系链连接到所述至少一个锚固件，所述至少一个系链相对于穿过所述检验质量块的中心并且基本上垂直于所述基板的平面对称，和

感测所述检验质量块的线性运动，其中感测所述检验质量块的线性运动包括：

通过第二感测电容器，响应于沿第一轴的线性加速度产生第二感测信号；

通过参考电容器产生参考信号，所述参考电容器由设置在所述基板上的电极和刚性连接到所述基板的梁形成；以及

组合所述第二感测信号和所述参考信号。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一旋转轴和所述第一轴彼此平行。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一旋转轴和所述第一轴彼此垂直。

12.根据权利要求9所述的方法，还包括通过第三感测电容器，经过响应于沿不同于所述第一轴的第二轴的线性加速度产生第三感测信号，感测所述检验质量块的线性运动。

13.根据权利要求9所述的方法，还包括通过第三感测电容器，经过响应于围绕不同于所述第一旋转轴的第二旋转轴的角度加速度产生第三感测信号，感测所述检验质量块的角度运动。