[发明专利]内径测量装置

权利要求书

1.一种内径测量装置，测量开口部的内径，其特征在于，

具有：

四个激光位移传感器，所述四个激光位移传感器具备照射激光的照射部及检测所述激光的反射光的检测部；

基板体，在第1基准线及第2基准线上的所述基板体的四个端部配置所述四个激光位移传感器，所述基板体以朝向所述第1基准线及所述第2基准线的各自两方向外侧的所述开口部的内壁面照射所述激光的方式，保持所述四个激光位移传感器，所述第1基准线及第2基准线为相互正交的两条直线；

臂部件，在所述臂部件的一端部保持所述基板体，所述臂部件沿与所述基板体交叉的方向延伸；

定位移动机构，所述定位移动机构保持所述臂部件的另一端部，并将所述臂部件沿其长度方向定位移动；以及

数据处理机构，根据第1距离和第2距离，计算所述开口部的内径，所述第1距离为所述第1基准线的方向的两方向外侧的所述开口部的相对置的内壁面间的距离，所述第2距离为所述第2基准线的方向的两方向外侧的所述开口部的相对置的内壁面间的距离。

2.如权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，

所述臂部件在一端部处固定着所述基板体，并且另一端部被所述定位移动机构以悬臂梁状态保持。

3.如权利要求1所述的内径测量装置，其特征在于，

在所述基板体和所述臂部件的安装部上，具有调节机构，所述调节机构调节所述基板体的所述第1基准线的方向的绕所述第2基准线的倾斜及所述第2基准线的方向的绕所述第1基准线的倾斜。

4.如权利要求2所述的内径测量装置，其特征在于，

在所述基板体和所述臂部件的安装部上，具有调节机构，所述调节机构调节所述基板体的所述第1基准线的方向的绕所述第2基准线的倾斜及所述第2基准线的方向的绕所述第1基准线的倾斜。

5.如权利要求3所述的内径测量装置，其特征在于，

所述调节机构调节第1倾斜，以使所述第1距离为最小，并调节第2倾斜，以使所述第2距离为最小，所述第1距离为所述第1基准线的方向的两方向外侧的所述开口部的相对置的内壁面间的距离，所述第2距离为所述第2基准线的方向的两方向外侧的所述开口部的相对置的内壁面间的距离。

6.如权利要求4所述的内径测量装置，其特征在于，

所述调节机构调节第1倾斜，以使所述第1距离为最小，并调节第2倾斜，以使所述第2距离为最小，所述第1距离为所述第1基准线的方向的两方向外侧的所述开口部的相对置的内壁面间的距离，所述第2距离为所述第2基准线的方向的两方向外侧的所述开口部的相对置的内壁面间的距离。

7.如权利要求1～6中任一项所述的内径测量装置，其特征在于，

具有：

一组辅助臂部件，在所述一组辅助臂部件的一端部保持所述基板体，所述一组辅助臂部件沿与所述基板体交叉的方向延伸；以及

一组辅助移动机构，所述一组辅助移动机构保持所述一组辅助臂部件的另一端部，并辅助所述一组辅助臂部件的向其长度方向的移动；

所述一组辅助臂部件在一端部处经由安装部件固定着所述基板体，并且另一端部被所述一组辅助移动机构以悬臂梁状态保持；

所述一组辅助臂部件的一端部和所述臂部件的一端部被固定在所述安装部件上，所述一组辅助臂部件与所述臂部件联动。