[发明专利]一种柔性显示面板的制作方法、柔性显示面板及显示装置有效
| 申请号： | 201810904505.9 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109037152B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 王欣欣 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/78 | 分类号： | H01L21/78;H01L27/32;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 显示 面板 制作方法 显示装置 | ||
1.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
在承载基板之上依次形成第一导电层、包含支撑结构的压电形变层、第二导电层、柔性衬底和显示器件；所述第二导电层的厚度为20nm-100nm；
分别向所述第一导电层和所述第二导电层施加预设电压，在所述第一导电层和所述第二导电层之间形成电场，在所述电场的作用下，所述压电形变层发生收缩形变露出所述支撑结构，仅使所述支撑结构与所述第二导电层接触；
在外力作用下将所述第二导电层与所述支撑结构剥离，形成所述柔性显示面板。
2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，形成所述包含支撑结构的压电形变层，具体包括：
在所述第一导电层之上形成支撑结构；
在所述支撑结构之上涂布压电形变材料，形成包含支撑结构的压电形变层。
3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述在所述第一导电层之上形成支撑结构，具体包括：
在所述第一导电层上涂布光刻胶层；
在所述光刻胶层上形成连续的网格状沟道；
在所述网格状沟道内填充绝缘材料；
去除所述光刻胶层，形成所述支撑结构。
4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述网格状沟道的深度与所述光刻胶层的厚度相同。
5.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述压电形变层的材料为电活性聚合物材料。
6.如权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述电活性聚合物材料包括聚乙炔、聚噻吩、聚苯胺和聚对亚苯基亚乙烯基其中之一或组合。
7.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第二导电层为透明导电层。
8.一种如权利要求1-7任一项所述的制作方法制作的柔性显示面板，其特征在于，包括：柔性衬底，位于所述柔性衬底第一表面的显示器件，以及位于所述柔性衬底第二表面的第二导电层。
9.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求8所述的柔性显示面板。
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