[发明专利]用于增加角灵敏度的多像素检测器及相关方法

权利要求书

1.一种具有多像素检测器的图像传感器，包括

第一像素，在基板中形成并具有第一光电二极管区域；

第二像素，与所述第一像素相邻地在所述基板中形成，并具有第二光电二极管区域；以及

微透镜，在所述第一像素和所述第二像素上方，并具有：

(a)在垂直于所述基板的上表面并包括所述第一光电二极管区域和所述第二光电二极管区域两者的第一剖面平面中的具有N₁个局部极大值的第一高度轮廓，N₁≥1；以及

(b)在垂直于所述第一剖面平面和所述上表面并仅包括所述第一光电二极管区域和所述第二光电二极管区域中的一个的第二剖面平面中的具有N₂N₁个局部极大值的第二高度轮廓。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，

所述第一高度轮廓具有N₁＝1个局部极大值并以第一曲率半径R₁为特征；以及

所述第二高度轮廓包括对应于各自的曲率半径R₂₁R₁和R₂₂R₁的第一局部极大值和第二局部极大值。

3.根据权利要求2所述的图像传感器，其中，所述第一曲率半径R₁＝730±70纳米。

4.根据权利要求2所述的图像传感器，其中，所述曲率半径R₂₁和R₂₂在(R₂₁+R₂₂)/2的百分之十以内为相等。

5.根据权利要求2所述的图像传感器，其中，所述曲率半径R₂₁和R₂₂等于580±60nm。

6.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述微透镜具有730±70纳米的最大厚度。