[发明专利]硅片交接机械手及硅片交接装置

权利要求书

1.一种硅片交接机械手，其特征在于，包括：气浮吸附组件(10)和驱动所述气浮吸附组件(10)的电机(20)，其中，

所述电机(20)包括：

底座(21)；

线圈骨架(22)，所述线圈骨架(22)上缠绕有线圈(24)，所述线圈骨架(22)套接于所述底座(21)内侧；

两个磁铁组件(23)，两个所述磁铁组件(23)均部分设置在所述底座(21)内部，且两个所述磁铁组件(23)间隔设置在所述线圈骨架(22)下方，所述磁铁组件(23)呈U型，所述U型的槽与所述线圈骨架(22)相对设置，当所述磁铁组件(23)沿所述线圈骨架(22)向上运动时，所述U型的槽容置所述线圈骨架(22)；

所述气浮吸附组件(10)包括：

轴套(11)，与所述线圈骨架(22)连接；

轴座(12)，所述轴座(12)分别与两个所述磁铁组件(23)位于所述底座(21)外部的端部连接；

气浮轴(13)，所述气浮轴(13)一端与所述轴座(12)连接，另一端依次穿过两个所述磁铁组件(23)之间的间隙和所述线圈骨架(22)伸入所述轴套(11)内；

吸附杆(14)，与所述轴套(11)套接，且所述吸附杆(14)一端位于所述轴套(11)内与所述气浮轴(13)连接，另一端延伸至所述轴套(11)外侧。

2.根据权利要求1所述的硅片交接机械手，其特征在于，所述磁铁组件(23)包括底部背铁(231)、磁铁(232)和顶部背铁(233)，所述底部背铁(231)包括竖直部(2311)和水平部(2312)，所述竖直部(2311)和所述水平部(2312)相互垂直设置，所述磁铁(232)与所述水平部(2312)连接，且所述磁铁(232)与所述竖直部(2311)间隔设置，所述顶部背铁(233)与所述磁铁(232)连接。

3.根据权利要求2所述的硅片交接机械手，其特征在于，所述线圈骨架(22)的横截面呈圆角矩形，所述磁铁(232)为矩形磁铁(232)，所述顶部背铁(233)和所述竖直部(2311)均为矩形背铁。

4.根据权利要求1所述的硅片交接机械手，其特征在于，还包括限位件(30)，所述限位件(30)通过紧固件与所述底座(21)固接，且所述限位件(30)与所述轴座(12)相邻设置，所述轴座(12)上于所述限位件(30)两侧设置有凸耳(121)，所述凸耳(121)与所述限位件(30)之间具有空隙。

5.根据权利要求4所述的硅片交接机械手，其特征在于，所述凸耳(121)上开设有第一通气孔(1211)，所述第一通气孔(1211)与所述轴座(12)内部的正压通道连通。

6.根据权利要求1所述的硅片交接机械手，其特征在于，还包括两个限位件(30)，两个所述限位件(30)镜像设置在所述轴座(12)两侧，所述轴座(12)上与所述限位件(30)相对的位置处开设有第二通气孔，所述第二通气孔与所述轴座(12)内部的正压通道连通。

7.根据权利要求4至6任一项所述的硅片交接机械手，其特征在于，所述底座(21)上开设有用于容置所述限位件(30)的卡槽。

8.根据权利要求1所述的硅片交接机械手，其特征在于，还包括位移传感器组件，所述位移传感器组件包括位移传感器读头(41)和位移传感器尺面(42)，所述位移传感器读头(41)安装在所述底座(21)上，所述位移传感器尺面(42)安装在所述气浮轴(13)上，所述位移传感器读头(41)和所述位移传感器尺面(42)相对设置。

9.根据权利要求1所述的硅片交接机械手，其特征在于，所述底座(21)内部开设有冷却管道(211)。

10.一种硅片交接装置，其特征在于，包括根据权利要求1至9任一项所述的硅片交接机械手。