[发明专利]刚性微腔体结构件在审
| 申请号： | 201810911421.8 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109060228A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 尉长虹;解渤 | 申请（专利权）人： | 博脉有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 符莹莹 |
| 地址： | 英属开曼群岛（拉丁美*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构件 微腔体 板体 盲孔 通孔 弹性模量 刚性材料 灵敏度 支撑梁 传感器 申请 | ||
【权利要求书】：
1.一种刚性微腔体结构件，其特征在于，包括采用刚性材料制成的板体,所述板体的弹性模量＞2Gpa，所述板体上阵列设置有若干通孔或盲孔，每列的相邻所述通孔或盲孔之间形成支撑梁。
2.根据权利要求1所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述板体表面设有正面胶层，所述板体底面设有背面胶层。
3.根据权利要求2所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述正面胶层的厚度＜0.05mm，所述背面胶层的厚度＜0.05mm。
4.根据权利要求1所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述刚性材料为陶瓷、塑料或金属。
5.根据权利要求4所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述刚性材料为金属，需要在所述板体上沉积一层绝缘层。
6.根据权利要求5所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述绝缘层的厚度＜5μm。
7.根据权利要求4所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述陶瓷为氧化铝陶瓷或氧化锆陶瓷。
8.根据权利要求1所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述通孔或盲孔为方形、圆形或多边形。
9.根据权利要求8所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述通孔或盲孔为方形，其短边尺寸＜0.8mm，所述支撑梁厚度＜0.1mm。
10.根据权利要求1所述的刚性微腔体结构件，其特征在于，所述板体的厚度＜0.2mm。
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