[发明专利]一种结构可控的紧排列完美涡旋阵列掩膜板的设计方法

权利要求书

1.一种结构可控的紧排列完美涡旋阵列掩膜板的设计方法，其特征在于：步骤如下：

步骤一、根据固体物理晶格阵列的原理，利用格点晶格内部坐标取值的选取，实现晶格原包向四周的延拓，得到格点坐标矩阵L_n’；

步骤二、利用步骤一得到格点坐标矩阵L_n’通过坐标变换矩阵进行坐标变换得到逻辑运算单元X_n’；

步骤三、将步骤二得到的逻辑运算单元X_n’进行逻辑运算进而得到结构可控的阵列格子坐标矩阵；

步骤四、将步骤三得到的结构可控的阵列格子坐标矩阵带入公式得到结构可控的紧排列完美涡旋阵列掩膜 板复透过率函数t；

其中，circ(ρ)为圆形光阑，为极坐标径向及角向变量；(x,y)为极坐标所对应的直角坐标系；j为虚数单位；k为波数；n₁为锥透镜的折射率；完美涡旋总数为N，A、M为N行1列的矩阵，分别控制着每个完美涡旋的半径与拓扑荷；L_n’为N行2列的矩阵，代表着阵列格子的晶格内部坐标；T_n’为晶格坐标系对直角坐标系的变换矩阵，LOGIC(X_n’,N’)为逻辑运算函数，代表在逻辑运算单元X_n’之间进行逻辑运算，其中N’为逻辑运算单元的总个数，sum(.)为矩阵元素求和函数；

步骤五、将上述得到的紧排列完美涡旋阵列掩膜 板复透过率函数t结合闪耀光栅相位因子生成结构可控的紧排列完美涡旋阵列掩膜 板T，掩膜 板T的表达式为：

其中，D为闪耀光栅周期；

所述的步骤一中，所述格点坐标矩阵L_n’的特点在于取值规律为几个整数的排列组合；

所述的步骤二中，所使用的坐标变换矩阵表达式为：

其中，d_n’与θ_n’分别为 晶格原包的基矢长度及夹角。

2.根据权利要求1所述的一种结构可控的紧排列完美涡旋阵列掩膜板的设计方法，其特征在于：所述的步骤三中，采用的逻辑运算包括或、与以及非。