[发明专利]一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置

说明书

本发明涉及一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置，包括电场生成装置和磁场生成装置；电场生成装置包括电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列和下电极板阵列；上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并平行安装，上绝缘板的下面设置上电极板阵列，下绝缘板的上面设置下电极板阵列，上电极板阵列和下电极板阵列均设置多块电极板，磁场生成装置在上电极板阵列和下电极板阵列之间。本发明在上电极板阵列和下电极板阵列之间构成了对称的电场，使得带电体无论其与电极板的距离如何，均能够按照同一角度偏转，不会发生发散现象，实现了对带电体的飞行轨迹方向进行精确控制。

技术领域

本发明涉及电子显微学领域，具体涉及一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置。

背景技术

在电子显微学中的一个重要课题是对带电体(通常选用电子)在电-磁复合场中的运动轨迹进行精确控制，其主要利用带电体在复合场中受到库仑力和洛伦兹力的作用，从而发生偏转，形成一定的运动轨迹，现有的带电体运动轨迹控制装置通常采用两块平行相对放置且施加了电压的电极板构成电场生成装置以及在电极板之间设置的磁场生成装置，这种带电体运动轨迹控制装置对距离电极板不同的带电体的偏转程度不同，造成带电体的角度发散，无法对带电体的飞行轨迹方向进行精确控制。

发明内容

本发明针对上述技术问题，提供一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置，包括用于产生电场的电场生成装置和用于产生与所述电场垂直的磁场的磁场生成装置；

所述电场生成装置包括电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列和下电极板阵列；

所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并平行安装，所述上绝缘板的下面设置所述上电极板阵列，所述下绝缘板的上面设置所述下电极板阵列，所述上电极板阵列和下电极板阵列均包含相同数量的多块与带电体的入射方向垂直、并且等间距平行排列的电极板，所述上电极板阵列的每块电极板和下电极板阵列上的每块电极板上的电位分别为等差递增和等差递减，上电极板阵列上的每块电极板和与该电极板相对的下电极板阵列上的电极板的电位之和相等，所述磁场生成装置在所述上电极板阵列和下电极板阵列之间。

本发明的有益效果是：在上电极板阵列和下电极板阵列之间构成了对称的电场，使得带电体无论其与电极板的距离如何，均能够按照同一角度偏转，不会发生发散现象，实现了对带电体的飞行轨迹方向进行精确控制。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述磁场生成装置采用电磁铁。

进一步，所述电磁铁、所述上电极板阵列和所述下电极板阵列采用相同相位的交流电驱动。

进一步，所述电极固定板采用金属电极固定板或非金属电极固定板。

进一步，所述上绝缘板和下绝缘板采用非金属绝缘板。

进一步，所述上电极板阵列和下电极板阵列采用金属板或印刷电路板。

进一步，该装置还包括电磁屏蔽装置，所述电场生成装置和磁场生成装置设置于所述电磁屏蔽装置内。

进一步，所述电磁屏蔽装置包括罩体，所述罩体表面上镀氧化铟锡镀膜层。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置的结构示意图；

图2为带电体在本发明实施例提供的一种基于复合场的带电体运动轨迹控制装置中偏转的示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：