[发明专利]一种用于加工喷丝板的气浮导向定位装置

说明书

本发明公开了一种用于加工喷丝板的气浮导向定位装置，包括工作台面，平行设于工作台面上的导轨，与导轨相匹配的滑块，滑块上连接有基准横梁和气浮块，工作台面和气浮块上分别设有定位结构，定位结构与置于悬浮态气浮块上的喷丝板相配合，并且基准横梁随导轨滑动与所述悬浮态的气浮块的基准侧相贴合，使气浮块落回工作台面后的喷丝板处于加工位置。本发明提供的装置安装在电火花机台上，用于加工微细孔喷丝板，该装置大大提高了喷丝板加工质量，确保了微孔方位的一致性，提高了生产效率，降低废品率及生产成本。

技术领域

本发明属于微细加工技术领域，具体地说，涉及一种用于加工喷丝板的气浮导向定位装置。

背景技术

目前，现代制造技术是一个国家发展经济的重要手段之一，也是衡量一个国家工业水平高低的重要依据，就目前来看，现代制造技术的发展主要呈现两个趋势：一个是追求制造系统自动化的计算机集成制造技术；另一个就是寻求制造系统微细加工极限的微机械制造技术。

微细加工技术的研究大多集中在半导体制造工艺、光刻技术、蚀刻技术和工技术上，并且取得了相当大的实用性进展，在熔融纺丝用微细喷丝板加工中也得到广泛应用。它不是依靠机械能而是通过其他能量方式如电、化学、光、声、热等去除金属或非金属材料，适合加工复杂、微细表面和低刚度零件采用某些特种加工方法可实现精密和超精密加工、镜面光整加工及微纳米级加工。

而电火花微细加工技术作为一种实用的微细特种加工技术，具有加工精度高、表面损伤小、加工中无显著的切削力、切削热、可实施性强等特点，在微细轴、孔及微三维结构制作方面，尤其是对难切削的导电材料及难加工结构的成形方面展现了相当大的发展潜力。由于电火花微细加工属于非接触式加工，加工过程没有切削力的额外影响，非常适合于微小尺寸零件的成形。

现有的微细孔加工中，往往是先加工好板坯，其尺寸较大的部位采用传统工艺加工，使得板坯尺寸存在偏差，不能准确定位装卡。而现有的多轴运动平台，移动时重复定位精度较差，不能达到极细异型微孔电火花加工定位要求。在极细有朝向要求的微孔加工过程中，只有通过多轴的联动作用后，才可能保证加工的喷丝板微孔保证方向的一致性，然而通过多轴的联动，各轴的运动精度偏差累积在一起的偏差将大大影响到工件的加工位置。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种用于加工喷丝板的气浮导向定位装置，采用气浮块与工作台面上分别设置的定位结构限制工件在水平和垂直方向上位移，进一步的，采用基准横梁限制工件在水平面上的转动，提供了一种使用成本低、操作简单方便、定位准确、加工效率高的气浮工装组件。

为解决上述技术问题，本发明采用技术方案的基本构思是：

本发明提供了一种用于加工喷丝板的气浮导向定位装置，包括工作台面2，平行设于工作台面2上的导轨3，与导轨3相匹配的滑块4，滑块4上连接有基准横梁5和气浮块1，工作台面2和气浮块1上分别设有定位结构，定位结构与置于悬浮态气浮块1上的喷丝板相配合，并且基准横梁5随导轨3滑动与所述悬浮态的气浮块1的基准侧相贴合，使气浮块1落回工作台面2后的喷丝板处于加工位置。

上述方案中，所述定位装置中喷丝板的精准运动导向采用工作台面2和气浮块1上的定位结构共同作用来完成预定位，进一步的，气浮块1配合灵活滑动的基准横梁5找准方位，使得携带喷丝板的悬浮态气浮块1位于正确的加工位置，此时关闭供气，使得气浮块1落回工作台面2，开始加工作业。所述载有喷丝板的气浮块1利用喷射气体脱离工作台面，大大减小喷丝板与工作台面2的摩擦阻力，同时防止喷丝板板面划伤，而通过定位结构与加工电极则保证了加工位置的准确。所述工作台面2上设有至少两条相互平行的导轨3，各导轨3分别设有滑块4，在两相邻导轨3的滑块4间架设基准横梁5，使得基准横梁5在工作台面2上随导轨3可滑动设置。