[发明专利]一种硅棒U形弯的切割分离装置及切割方法在审

专利信息
申请号: 201810916026.9 申请日: 2018-08-13
公开(公告)号: CN108748752A 公开(公告)日: 2018-11-06
发明(设计)人: 高召帅;于跃;李福中;姜浩;吴锋 申请(专利权)人: 江苏鑫华半导体材料科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 张南南;肖明芳
地址: 221004 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 切割装置 硅棒 切割 传输装置 切割分离 旋转装置 移动导轨 套在 牵引力 旋转切割装置 分离过程 机械损伤 细微结构 有效实现 成对区 熔硅
【权利要求书】:

1.一种硅棒U形弯的切割分离装置,其特征在于,包括切割装置、用于旋转切割装置的旋转装置(1)、切割装置移动导轨(2);所述切割装置连接在所述旋转装置(1)上,所述旋转装置(1)和切割装置移动导轨(2)通过轨道连接;

所述切割装置包括切割传输装置(3)和金刚线圈(4),所述切割传输装置(3)设有凹槽圈(31)和连接旋转装置(1)的连接孔(32);所述金刚线圈(4)的一端套在所述凹槽圈(31)上,所述金刚线圈(4)的另一端套在硅棒U形弯处;

所述旋转装置(1)设有和所述连接孔(32)相配合的凸起(11),还包括用于在所述切割装置移动导轨(2)的轨道(21)上移动的滚轮(12)。

2.根据权利要求1所述的切割分离装置,其特征在于,所述切割分离装置还包括用于切割装置的牵引装置(5),所述牵引装置(5)包括电机(51)和与电机(51)连接的切割装置移动牵引线(52),所述切割装置移动牵引线(52)和旋转装置(1)通过所述旋转装置(1)上的切割装置牵引线卡环(14)固定连接。

3.根据权利要求1所述的切割分离装置,其特征在于,所述切割分离装置还包括切割角度调整导轨(6),所述切割角度调整导轨(6)设有凹槽(61),所述切割装置移动导轨(2)的一端在所述凹槽(61)内移动从而调整切割装置的切割角度。

4.根据权利要求1所述的切割分离装置,其特征在于,所述金刚线圈(4)的直径为100-200μm,长度为1000-1500mm。

5.根据权利要求1所述的切割分离装置,其特征在于,所述切割传输装置(3)为圆柱体,直径为80-120mm。

6.根据权利要求1所述的切割分离装置,其特征在于,所述切割传输装置(3)的材质为橡胶。

7.根据权利要求1所述的切割分离装置,其特征在于,所述切割分离装置还包括用于冷却切割装置的冷却装置(7)。

8.一种利用权利要求1-7任意一项所述的切割分离装置切割硅棒U形弯的方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将U形硅棒(8)平放在固定支架(9)上;

(2)将所述切割装置固定在用于旋转切割装置的旋转装置(1)上,将所述金刚线圈(4)套在硅棒(8)U形弯处,启动旋转装置(1)并在牵引力带动下带动旋转装置(1)在切割装置移动导轨(2)上移动,金刚线圈(4)切割硅棒(8)U形弯;当切割到硅棒(8)U形弯的中心区域时停止切割,调整切割角度进行下一次切割;

(3)硅棒(8)U形弯的切割分3-5次进行,切割过程中全部的切割角度变化控制在180度。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,步骤(2)中所述牵引力的牵引速度为120-160μm/s,所述旋转装置(1)的转速为1000-1500r/min。

10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,步骤(3)中切割分3次进行,切割角度依次为0度、90度、180度;或步骤(3)切割分4次进行,切割角度依次为0度、60度、120度和180度;或步骤(3)切割分5次进行,切割角度依次为0度、45度、90度、135度和180度。

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