[发明专利]一种低能电子加速器扫描束垂直引出装置及方法

权利要求书

1.一种低能电子加速器扫描束垂直引出装置，其特征在于：该装置包括钛窗（1）和一组聚拢磁铁（9）；所述钛窗（1）的一端设有扫描磁铁（13），其另一端设有法兰（6），该法兰（6）上套装有一组所述聚拢磁铁（9）；所述法兰（6）的下面设有覆盖钛膜（10）的格栅窗（4）；所述钛膜（10）上设有压板（11）；所述聚拢磁铁（9）包括外部包裹有不锈钢外罩（5）的两个相对设置的C型铁芯（3）以及套装在两个C型铁芯（3）上的线圈（2）；所述不锈钢外罩（5）上分别设有外接直流电源电缆的进线口（7）、外接通风管道的进风口（8）；两个相对设置的所述C型铁芯（3）对称设在所述钛窗（1）的两侧；所述线圈（2）上设有与供电线缆相连的接线柱；所述C型铁芯（3）的截面多处不相等；所述格栅窗（4）上设有竖直栅齿（12）。

2.如权利要求1所述的一种低能电子加速器扫描束垂直引出装置，其特征在于：所述法兰（6）与所述聚拢磁铁（9）通过定位螺钉套装在一起。

3.如权利要求1所述的一种低能电子加速器扫描束垂直引出装置，其特征在于：所述不锈钢外罩（5）与所述C型铁芯（3）通过固定螺钉连接在一起。

4.如权利要求1所述的一种低能电子加速器扫描束垂直引出装置的使用方法，包括以下步骤：

⑴从低能电子加速器中阴极表面出射的电子束（14），被低能电子加速器扫描束垂直引出装置中的扫描磁铁（13）扫描，到达引出格栅窗（4）之前，所述电子束（14）出射方向与引出方向即竖直方向形成夹角；

⑵为低能电子加速器扫描束垂直引出装置中的聚拢磁铁（9）上的的线圈（2）通直流电流，此时在C型铁芯（3）的左右两边磁极之间将产生方向相反的磁场；

⑶与引出方向形成夹角的所述电子束（14）在穿过所述C型铁芯（3）磁极的过程中，受磁场力作用，所述电子束（14）被聚拢并与引出方向一致。