[发明专利]液体感测装置及其感测方法

权利要求书

1.一种液体感测装置，包括：

一感测器，包括一封闭电路，上述感测器被配置以当与液体接触时，产生上述封闭电路的一参数值的变化，其中上述感测器是线形且可挠曲的，并且被配置以通过一半导体工艺系统内的一路径；以及

一控制器，被配置以基于在上述参数值内的上述变化产生一警报信号，其中上述感测器包括一输入导线以及一输出导线，上述输入导线的一端和上述输出导线的一端通过一电阻模块被连接，并且上述输入导线的另一端和上述输出导线的另一端耦接至上述控制器以形成上述封闭电路，上述电阻模块包括一电阻值，上述电阻模块的电阻值大于上述输入导线或上述输出导线的电阻值。

2.如权利要求1所述的液体感测装置，其中上述输入导线以及上述输出导线至少部分地被包围在一纤维绝缘材料中，上述纤维绝缘材料被配置以通过毛细作用力吸取接触上述纤维绝缘材料的液体送至上述输入导线和上述输出导线的至少一者。

3.如权利要求1所述的液体感测装置，其中上述输入导线以及上述输出导线被并排在一起，并且通过上述半导体工艺系统的相同部分。

4.如权利要求1所述的液体感测装置，其中上述输入导线以及上述输出导线被分开，并且通过上述半导体工艺系统的不同部分。

5.如权利要求1所述的液体感测装置，还包括耦接到上述控制器的多个额外感测器，上述多个额外感测器的每一者是线形且可挠曲的，并且被配置以通过上述半导体工艺系统内个别且不同的路径，其中上述多个额外感测器与上述感测器是相同类型的。

6.如权利要求1所述的液体感测装置，其中上述控制器包括一开放端，并且上述感测器是可移除地附加至上述控制器，使得上述感测器被配置以在上述开放端的位置从上述控制器被移除，以及在上述开放端的位置被重新附加到上述控制器。

7.如权利要求1所述的液体感测装置，其中控制器被配置以当上述参数值超过一阈值时，产生上述警报信号。

8.一种液体感测方法，包括：

在包括一封闭电路的一感测器读取上述封闭电路的一参数值，上述感测器被配置以当与液体接触时，在上述参数值中产生一变化，其中上述感测器为线形且可挠曲的，并且被配置以通过一半导体工艺系统内的一路径，其中上述感测器包括一输入导线以及一输出导线，上述输入导线的一端和上述输出导线的一端通过一电阻模块被连接，并且上述输入导线的另一端和上述输出导线的另一端耦接至一控制器以形成上述封闭电路，上述电阻模块包括一电阻值，上述电阻模块的电阻值大于上述输入导线或上述输出导线的电阻值；

判断上述参数值是否超过一阈值；以及

当判断出上述参数值超过上述阈值时，产生一警报信号。

9.如权利要求8所述的液体感测方法，其中上述参数值从上述感测器的一输入导线和一输出导线中至少一者被读取。

10.如权利要求8所述的液体感测方法，其中上述路径是在上述半导体工艺系统的一腔室内。

11.如权利要求8所述的液体感测方法，其中上述路径卷绕上述半导体工艺系统的一水管。

12.如权利要求8所述的液体感测方法，其中上述路径通过上述半导体工艺系统的多个腔室。