[发明专利]一种自真空硬密封双层旁路阀门

权利要求书

1.一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于，包括基座、出气管以及真空洁净空气平衡装置，在所述基座上设有气缸，所述气缸的芯棒穿过所述基座并与预设在所述基座下端的连接柱连接，在所述连接柱的下端设有通孔，在所述通孔的上端设有滑槽，在所述基座的下端设有罐体，在所述罐体的上端设有若干泄气孔，在所述泄气孔内设有阀门组件，所述阀门组件包括第一旁路阀盖，预设在所述第一旁路阀盖上的第一连接管通过第一销轴穿过所述通孔实现与所述连接柱的连接，在所述第一旁路阀盖的上端设有第二旁路阀盖，预设在所述第二旁路阀盖上的第二连接管通过第二销轴穿过所述滑槽实现与所述连接柱的连接，在所述第一旁路阀盖与第二旁路阀盖之间设有弹簧，所述出气管依次穿过第一旁路阀盖、第一旁路阀盖并置于所述罐体内，所述真空洁净空气平衡装置的下端穿过所述第一旁路阀盖并置于第二旁路阀盖上端。

2.如权利要求2所述的一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于：在所述泄气孔内且位于所述第一旁路阀盖的下方设有与所述第一旁路阀盖相互配合的挡板。

3.如权利要求1所述的一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于：所述第一旁路阀盖的直径小于所述第一旁路阀盖的直径。

4.如权利要求3所述的一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于：所述第一旁路阀盖的直径为所述第一旁路阀盖的直径的7/8。

5.如权利要求1所述的一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于：所述弹簧为涨弹簧。

6.如权利要求1所述的一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于：所述弹簧为收缩弹簧。

7.如权利要求1所述的一种自真空硬密封双层旁路阀门，其特征在于：所述真空洁净空气平衡装置包括空气过滤器以及进气管，所述进气管穿过所述第一旁路阀盖并置于第二旁路阀盖上端。