[发明专利]用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍及制备

权利要求书

1.用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍，其特征在于其为颗粒状纳米氧化镍，其晶粒直径为10～20nm，有(111)晶向的择优取向。

2.如权利要求1所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1)在磁控溅射仪阴极装上金属镍靶和挡板，将基片放在磁控溅射仪腔体内基台上，关闭腔体，启动磁控溅射仪真空泵，将腔体内气压降至初始气压；

2)让基台旋转，向腔体内通入O₂和Ar的混合气体，使腔体内总气压为6～10mTorr，控制O₂压强占总气压的50％～100％；

3)开启磁控溅射电源，将溅射总功率升至60～100W，经预溅射后打开挡板，溅射30～120min，得到用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍。

3.如权利要求2所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述镍靶的纯度为99.9％的金属镍靶材。

4.如权利要求2所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于在步骤1)中，所述将腔体内气压降至初始气压为E-6torr。

5.如权利要求2所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于在步骤2)中，所述O₂的压强占总气压的90％～100％。

6.如权利要求2所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于在步骤2)中，所述基台旋转的速度为15°/s。

7.如权利要求2所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于在步骤3)中，所述溅射总功率为80～100W，溅射时间为30～60min。

8.如权利要求7所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于所述溅射时间为10～15min。

9.如权利要求2所述用于钙钛矿太阳能电池空穴传输材料的纳米氧化镍的制备方法，其特征在于在步骤3)中，所述溅射电源为射频电源。