[发明专利]结合测试设备和方法

权利要求书

1.一种结合测试设备，包括：

测试工具，所述测试工具具有测试工具顶端，所述测试工具顶端被构造成在结合测试期间接触衬底上的结合部；

挠曲件，所述挠曲件被联接到所述测试工具；

被偏压到打开构造中的一对相对的卡爪，其中所述结合测试设备被构造成利用所述一对相对的卡爪使用所述测试工具来执行拉伸测试；

闭合构件；

驱动机构，所述驱动机构被构造成将驱动力施加到所述闭合构件，使得所述闭合构件沿着与所述衬底的表面平行的方向对所述卡爪施加闭合力以闭合所述卡爪；

位移传感器；以及

可检测构件，其中所述可检测构件和所述位移传感器中的一个相对于所述挠曲件的第一端固定，并且另一个相对于所述挠曲件的第二端固定，

其中所述位移传感器被配置成检测所述位移传感器和所述可检测构件之间的位移，从而所述位移传感器提供在将力施加到所述挠曲件时所述挠曲件的第一端相对于所述挠曲件的第二端的位移的测量值；并且其中所述结合测试设备包括处理器，所述处理器被配置成接收来自所述位移传感器的位移信号，并且使用所述位移信号来确定所述挠曲件上的力。

2.根据权利要求1所述的结合测试设备，其中所述处理器被配置成使用所述位移信号以及所述挠曲件的已知刚度来确定所述挠曲件上的力。

3.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述位移传感器被配置成给出与所述挠曲件的所述第一端的所述位移成比例的输出信号。

4.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中，所述位移传感器是磁阻传感器或巨磁阻传感器。

5.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述可检测构件包括磁性部，其中所述磁性部和所述位移传感器中的一个相对于所述挠曲件的所述第一端固定，并且其中所述位移传感器被配置成感测磁场的变化，使得所述挠曲件的所述第一端相对于所述第二端的位移导致所述磁性部相对于所述位移传感器移动，并且所述位移传感器感测磁场的变化。

6.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述位移传感器是霍尔效应传感器。

7.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述位移传感器是光学位移传感器。

8.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述测试工具被固定到所述挠曲件的所述第一端，使得结合部对所述测试工具施加测试力导致所述挠曲件的所述第一端在预定方向上的相对位移。

9.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述位移传感器是电容传感器。

10.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述驱动机构包括驱动机构距离传感器，所述驱动机构距离传感器配置成测量所述驱动机构在对所述闭合构件施加驱动力的同时移动的距离。

11.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述驱动机构被构造成使得：当所述测试工具的所述卡爪夹持结合部时，施加所述驱动力使得所述挠曲件的所述第一端相对于所述第二端移位。

12.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述驱动机构安装在所述挠曲件的第一端上，所述挠曲件的所述第一端能相对于所述测试工具移动，并且其中所述驱动机构被构造成使得：当所述测试工具的所述卡爪夹持测试结合部时，施加所述驱动力引起所述闭合构件与所述驱动机构之间的反作用力，所述反作用力使所述挠曲件的所述第一端相对于所述第二端移位。

13.根据权利要求1或2所述的结合测试设备，其中所述闭合构件包括被布置成围绕所述卡爪的至少一部分的套筒，其中所述套筒能相对于所述卡爪轴向移动，并且被构造成与所述卡爪接合，使得所述套筒相对于所述卡爪的移动对所述卡爪施加所述闭合力。