[发明专利]一种温度压力一体式传感器芯体及其制备方法

权利要求书

1.一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，包括热敏电阻、压敏薄膜、不锈钢探杆、不锈钢弹性体和不锈钢连接件；所述不锈钢探杆具有中空部，所述热敏电阻放置在不锈钢探杆的中空部的底部，所述热敏电阻与不锈钢探杆之间填充有硅胶，所述不锈钢探杆的顶部和不锈钢弹性体连接为一体，所述不锈钢连接件的顶部和不锈钢弹性体连为一体，所述不锈钢连接件套设在不锈钢探杆上，所述压敏薄膜设置在不锈钢弹性体的顶部，热敏电阻的连接引线沿不锈钢探杆引出，不锈钢弹性体的中心开设有用于不锈钢探杆穿过的中心通孔。

2.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述不锈钢弹性体为圆盘结构，所述中心通孔外开设有环形沟槽，所述环形沟槽的外围为实心结构。

3.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述热敏电阻的阻值通过连接引线沿不锈钢探杆引出。

4.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述压敏薄膜包括四个压敏电阻、两个调零电阻；所述压敏电阻和调零电阻通过金属导线连接形成惠斯通电桥，所述惠斯通电桥具有四个用于电源输入和差分信号输出的引线焊盘。

5.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述不锈钢探杆和不锈钢弹性体通过焊接连为一体。

6.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述不锈钢连接件和不锈钢弹性体通过焊接连为一体。

7.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述不锈钢弹性体为17-4H不锈钢制成。

8.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述不锈钢连接件和不锈钢探杆为304、204不锈钢制成。

9.根据权利要求1所述的一种温度压力一体式传感器芯体，其特征在于，所述不锈钢连接件的外侧设置有连接螺纹。

10.如权利要求1～9任一项所述的一种温度压力一体式传感器芯体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制作不锈钢弹性体、不锈钢连接件，然后制作不锈钢探杆，使其底部探出于不锈钢连接件的底部；

(2)通过厚膜工艺或溅射工艺在不锈钢弹性体的上表面依次制作绝缘层、图形化压阻层、图形化调零电阻层、图形化引线层、图形化焊盘层以及绝缘层，形成压敏薄膜；

(3)将不锈钢弹性体与不锈钢探杆焊接在一起；

(4)将不锈钢弹性体与不锈钢连接件焊接在一起；

(5)将带有连接引线的热敏电阻与不锈钢探杆进行装配，并进行硅胶填充。