[发明专利]搬运装置

说明书

通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。

本发明专利申请是国际申请日为2013年02月26日、进入中国国家阶段日期为2015年06月05日、国家申请号为201380063583.6(国际申请号PCT/JP2013/054951)、发明名称为“搬运装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及使如薄玻璃之类的基板浮起而进行搬运的搬运装置。

背景技术

在以液晶显示器为代表的平板显示器的制造中，为了在不损伤如薄玻璃之类的基板的状态下进行搬运，利用使基板浮起而进行搬运的搬运装置。这种搬运装置通常具备喷出压缩空气的浮起装置，而且具备与浮起的基板接触并对基板施加驱动力的带式输送机或辊式输送机。

附着在玻璃基板上的灰尘和其表面的伤痕对显示器的质量带来重大的影响。灰尘的附着和表面的伤痕的主要原因之一是，玻璃基板与搬运装置等接触。另一方面，玻璃基板由于例如其厚度为0.7mm或者其以下而具有挠性，因此为了防止搬运中的接触而重视将基板保持平坦的状态下进行搬运的技术。近年来希望得到更薄的玻璃，而将该玻璃保持平坦的状态下进行搬运将越来越困难。

专利文献1公开了具备带式输送机的搬运装置的技术。根据该技术，带具备以等间隔配置的突起，通过突起与浮起的玻璃基板接触，来搬运该玻璃基板。

专利文献2公开了具备辊式输送机的搬运装置的技术。根据专利文献2，将“玻璃基板的通路线中央部较大地向上方浮起或下垂的弯曲变得明显”这一情况作为技术问题。为了解决该技术问题，通过调节来自宽度方向中央位置的气动工作台单元的气体供给量，抑制玻璃基板的弯曲。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开2008－066661号

专利文献2：日本专利申请公开2008－260591号

发明内容

发明要解决的问题

如上所述的技术能够将玻璃基板大致保持平坦。但是，对于在搬运方向上的前端的挠曲等局部的挠曲，仍然存在技术问题。即，在玻璃基板从一个辊子向下一个辊子移动时，或者从一个搬运装置向下一个搬运装置移动时，由于不存在用于支撑前端的部件，因此前端因自重而向下方挠曲。存在前端容易与辊子或搬运装置碰撞的问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的。本发明人发现，违反如上所述的技术常识，仅将玻璃基板的宽度方向的两端平坦地支撑，反而使玻璃基板的中央部稍微挠曲，从而能够抑制前端的挠曲，由此想到了本发明。

为了解决问题的方法

根据本发明的一个方案，用于通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，并且构成为与上述对象物接触并向上述第一方向进行驱动；以及吸引部，与上述搬运部邻接并平行地延伸、或者与上述搬运部在同一直线上并排地配置，并且对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触。

发明的效果

能够防止基板的前端挠曲，能够防止基板与搬运装置等碰撞。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的搬运装置的一部分的立体图。